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超薄膜(厚さ

超薄膜のナノ機械的特性評価、ナノトライボロジー評価、界面接着特性評価

超薄膜はさまざまな高度なアプリケーションで使用されています。ほとんどの超薄膜は気相前駆体およびプラズマプロセスを使用した複雑な化学的および物理的な蒸着技術により作製されます。これらの特性を発揮した機能性材料を開発・生産するには、わずか数原子レベルの厚みの超薄膜の機械的特性、トライボロジー特性、界面特性を定量的に評価することが必要です。

ブルカーのナノインデンテーションシステムは超薄膜のナノ機械的特性、ナノトライボロジー特性評価に適応可能です。定量的な超薄膜測定に必要な荷重感度、変位感度および制御アルゴリズムを有するシステムを開発しました。また、特許取得済のモデルを用いた解析ソフトウエアパッケージ(オプション)を用いることで、ナノインデンテーションデータから基板の影響を取り除き、薄膜固有の弾性率値を算出することもできます。

ブルカーのナノスクラッチ技術は超薄膜の定量的トライボロジー特性、界面接着特性評価を可能にしました。特許取得済の2D静電容量型トランスデューサーは、ナノスクラッチ試験中の垂直・水平方向の荷重・変位の高感度で測定し、ナノスケールトライボロジー特性評価および界面接着特性評価を行うことが可能です。


アプリケーションノート


超薄膜の評価が可能な独立型ナノインデンテーションシステム

TI980 Tool Image v5

TI 980 TriboIndenter

ブルカーの最先端のナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。最大の性能、順応性、信頼性、感度、測定スピード

TI950 Tool Image v5

TI 950 TriboIndenter

多用途に使用可能なナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。幅広い複合評価をご提供可能

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TI Premier

コンパクトなプラットフォームでナノスケールの力学特性評価のエッセンスを詰め込んだナノ力学特性評価専用装置

PI 85l SEM Picoindenter icon

PI 85L SEM PicoIndenter

SEM(走査電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価ベーシックモデル

 

PI 88 SEM Picoindenter icon

PI 88 SEM PicoIndenter

SEM、FIB/SEM中で行うin-situナノ力学特性評価ハイエンドモデル

 

PI 95 TEM Picoindenter icon

PI 95 TEM PicoIndenter

TEM(透過電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価モデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーのAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント