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電気機械的特性評価技術

電気特性と機械的特性のハイブリッド評価技術

ナノスケールの機械的特性および電気的特性を同時に評価することで、材料に印加した応力や材料の変形挙動が電気的性質にどのような影響を及ぼすかを正確に把握することができます。ブルカーのナノインデンテーションベースの電気機械的特性評価技術を用いることでナノインデンテーション測定中に取得できる情報を大幅に強化します。圧子と試料の接触部に電流を流すことによって、電気接触抵抗の変化をナノインデンテーションシステムにより厳密に制御された荷重・変位条件下で測定することができます。他にも誘電性挙動、薄膜の破壊電圧、応力誘起の相変態などの定量的特性評価が可能です。

低次元材料の電気機械的特性については、TEMまたはSEM内部で行うナノスケールの引張試験中に電気的特性試験を同時に行うことが有効です。一軸引張を行うデバイスを利用することで、応力・歪み・材料変形挙動と電気的特性の相関関係を評価することができます。


ブルカーの電気機械的特性評価技術

Electrical Contact Resistance Standalone 300x225

電気接触抵抗評価 – 独立型ナノインデンテーションシステム

独立型ナノインデンテーションシステムでのナノスケール電気接触抵抗評価

Electrical Contact Resistance MP 300x225

電気接触抵抗評価 – 顕微鏡搭載型ナノインデンテーションシステム

顕微鏡搭載型ナノインデンテーションシステムでのナノスケール電気接触抵抗評価