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弾性率

ナノスケールでも定量的に弾性率を評価

ナノインデンテーション法は微細構造、界面、小さな表面形状、薄膜などの微小領域の機械的特性を定量的に測定するための技術です。ナノインデンテーション法では既知の形状の圧子(プローブ)を材料の表面に押し込む試験の間に、加えられた荷重および変位(押し込み深さ)を連続的に測定し、荷重-変位曲線を得ます。その曲線は材料特性により形状などが異なるため、解析することにより様々な材料の弾性率、硬さなどを定量的に算出できます。

ブルカーはナノインデンテーションによりナノスケールの機械的特性を算出する装置を開発するワールドワイドのトップランナーです。ナノメートル精度で測定位置を制御し、測定中のデータ取得も安定的に行えるよう、独自の静電容量型トランスデューサー技術を開発しました。これにより、ナノスケールでの定量的かつ高精度な機械的特性評価が可能になりました。ブルカーの幅広いナノ機械的特性評価技術は超薄膜から従来のバルク材料まで、非常に広範囲の材料でナノスケールからマイクロスケールまで評価し、材料特性の把握をお助けします。

弾性率を算出可能な独立型ナノインデンテーションシステム

TI980 Tool Image v5

TI 980 TriboIndenter

ブルカーの最先端のナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。最大の性能、順応性、信頼性、感度、測定スピード

TI950 Tool Image v5

TI 950 TriboIndenter

多用途に使用可能なナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。幅広い複合評価をご提供可能

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TI Premier

コンパクトなプラットフォームでナノスケールの力学特性評価のエッセンスを詰め込んだナノ力学特性評価専用装置

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PI 85L SEM PicoIndenter

SEM(走査電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価ベーシックモデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーのAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント

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PI 88 SEM PicoIndenter

SEM、FIB/SEM中で行うin-situナノ力学特性評価ハイエンドモデル

 

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PI 95 TEM PicoIndenter

TEM(透過電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価モデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント