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応力緩和特性

定量的なナノスケールでの応力緩和特性評価

変位フィードバック制御下でナノインデンテーション測定を行う際には、ナノスケールで定量的な応力緩和測定を実施することが可能です。応力緩和を測定するとき、圧子はユーザーの指定した変位に達するまで材料の表面に押し込まれます。その後、圧子に作用する荷重を継続的に計測しながら、一定の時間(保持時間中)変位を一定に保ちます。応力緩和特性は、保持時間の関数として測定された荷重の減衰から評価されます。薄膜、複雑な微細構造などさまざまな材料でナノインデンテーション技術を用いた応力緩和測定を実行できます。

ブルカーの静電容量型トランスデューサーを搭載したシステムではナノスケールで高精度の応力緩和測定を実施可能です。最先端の制御コントローラーによる高速フィードバック制御アルゴリズムにより、試験中の荷重と変位を正確に計測します。また、in-situ SPMイメージング技術と組み合わせることで、試験位置を±10nmの精度で指定することができます。

応力緩和特性を評価可能な独立型ナノインデンテーションシステム

TI980 Tool Image v5

TI 980 TriboIndenter

ブルカーの最先端のナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。最大の性能、順応性、信頼性、感度、測定スピード。

TI950 Tool Image v5

TI 950 TriboIndenter

多用途に使用可能なナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。幅広い複合評価をご提供可能。

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TI Premier

コンパクトなプラットフォームでナノスケールの力学特性評価のエッセンスを詰め込んだナノ力学特性評価専用装置。

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PI 85L SEM PicoIndenter

SEM(走査電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価ベーシックモデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーのAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント

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PI 88 SEM PicoIndenter

SEM、FIB/SEM中で行うin-situナノ力学特性評価ハイエンドモデル

 

PI 95 TEM Picoindenter icon

PI 95 TEM PicoIndenter

TEM(透過電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価モデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント