Dektak XT Hybrid Circuit

薄膜測定 — 高い歩留まりを実現

半導体製造において、成膜およびエッチング速度の均一性や、薄膜応力を詳細にモニタリングすれば、貴重な時間と費用の節約が可能です。

半導体製造において、成膜およびエッチング速度の均一性や、薄膜応力を詳細にモニタリングすれば、貴重な時間と費用の節約が可能です。フィルム層の不均一性や過度の応力は、歩留まりの低下や最終製品性能の劣化につながります。Dektak XTでは、自動マルチサイト測定ルーチンを迅速かつ簡単に設定および実行し、ウェハー表面全体で薄膜の正確な厚さをナノスケールで確認することができます。比類のない再現性により、精密な膜厚および応力測定が実現します。エッチングおよび成膜プロセスを正確に調整し、歩留まりを高めるためには、こうした測定が不可欠です。

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Dektak XT Solar Trace

ソーラー配線分析 — 製造コストを削減

ソーラー市場では、Dektakは銀配線の限界寸法測定に適したソリューションとして定評を得ています。

ソーラー市場では、Dektakは銀配線(ストリート)の限界寸法測定に適したソリューションとして定評を得ています。銀配線は、単結晶および多結晶ソーラーパネルで見られる導電線です。銀配線の高さ、幅、連続性は、太陽電池のエネルギー伝導力に関連しています。適切な生産状況を保つには、過不足のない銀ペーストを適用し、高価な銀を無駄にせずに最適な導電性を得る必要があります。Dektak XTでは、配線分析ルーチンを用いて、銀配線の寸法限界をレポートし、導電性を得るのに十分な量の材料の有無を確認することができます。Vision64のデータアナライザーレシピおよび自動化機能は、こうした確認プロセスの自動化に役立ちます。

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Dektak XT Medical Scan

表面粗さ試験 — 性能を保証

Dektak XTは、精密に機械加工された部品の表面粗さのルーチン確認に最適です。

Dektak XTは、精密に機械加工された部品の表面粗さのルーチン確認に最適です。こうした測定は、自動車、航空機、医療機器といった幅広い業界で重要となります。たとえば、整形外科用インプラント裏側のヒドロキシアパタイト被覆の粗さは、接着力やインプラント後の効率に影響を与えます。Dektak XTを用いて表面粗さを迅速に分析すれば、結晶成長の適正さや、インプラントが製造基準を満たしているどうかの確認が可能です。Vision64データベースと合否基準を使えば、品質確認担当者が再加工の必要なインプラントを簡単に特定したり、インプラント品質を認定したりすることができます。

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Dektak XT Microfluidics

マイクロフルイディクス — 設計と性能を確認

Dektakは、オングストロームレベルの再現性で繊細な材料の大きな垂直構造(高さ1mmまで)を測定できる、唯一のスタイラスプロファイラーです。

Dektakは、オングストロームレベルの再現性で繊細な材料の大きな垂直構造(高さ1mmまで)を測定できる、唯一のスタイラスプロファイラーです。MEMSおよびマイクロフルイディクス分野では、Dektak XTを用いて、部品の仕様適合性確認に求められる重要な測定を実施することができます。低フォース測定機能NLite+では、繊細な材料に軽く触れることで、サンプル表面を傷つけずに、正確に段差や粗さを測定します。

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