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薄膜測定— 歩留まりの向上

Dektak XT Hybrid Circuit

半導体製造において、成膜およびエッチング速度の均一性や、薄膜応力を詳細にモニタリングすれば、貴重な時間と費用の節約が可能です。フィルム層の不均一性や過度の応力は、歩留まりの低下や最終製品性能の劣化につながります。Dektak XTでは、自動マルチサイト測定ルーチンを迅速かつ簡単に設定および実行し、ウェハー表面全体で薄膜の正確な厚さをナノスケールで確認することができます。比類のない再現性により、精密な膜厚および応力測定が実現します。エッチングおよび成膜プロセスを正確に調整し、歩留まりを高めるためには、こうした測定が不可欠です。

ソーラーパネル銀配線分析 — 製造コストの削減

ソーラー市場では、Dektakは、単結晶および多結晶ソーラーパネルに見られる導電線である銀配線の最小寸法を測定するための好ましいソリューションとして確立されています。銀配線の高さ、幅、および連続性は、太陽電池のエネルギー伝導能力と相関しています。望ましい生産状態は、高価な銀を無駄にすることなく、最適な導電性のために必要十分な銀ペーストを塗布することです。 Dektak XTは、通りのクリティカルディメンションをレポートするトレース分析ルーチンを使用して、導電性に十分な材料が存在することを確認します。 Vision64のData Analyzerレシピと自動化機能は、この検証プロセスの自動化に貢献します。

Dektak XT Solar Trace

マイクロ流路デバイス — 設計と性能の検証

Dektak XT Microfluidics

 

Dektakは、オングストロームレベルの再現性で繊細な材料の大きな垂直構造(高さ1mmまで)を測定できる、唯一のスタイラスプロファイラーです。MEMSおよびマイクロフルイディクス分野では、Dektak XTを用いて、部品の仕様適合性確認に求められる重要な測定を実施することができます。低フォース測定機能NLite+では、繊細な材料に軽く触れることで、サンプル表面を傷つけずに、正確に段差や粗さを測定します。

表面粗さ試験 — 性能の保証

Dektak XTは、精密に機械加工された部品の表面粗さのルーチン確認に最適です。こうした測定は、自動車、航空機、医療機器といった幅広い業界で重要となります。たとえば、整形外科用インプラント裏側のヒドロキシアパタイト被覆の粗さは、接着力やインプラント後の効率に影響を与えます。Dektak XTを用いて表面粗さを迅速に分析すれば、結晶成長の適正さや、インプラントが製造基準を満たしているどうかの確認が可能です。Vision64データベースと合否基準を使えば、品質確認担当者が再加工の必要なインプラントを簡単に特定したり、インプラント品質を認証したりすることができます。

Dektak XT Medical Scan