Dektak XTL Automation
Dektak XTL bannerv v1

大型試料の分析

  • エンコード制御の300 mm X/Yステージ
  • 200 mmおよび300 mmのウエハに対応
  • 最大350 mm x 350 mmのパネルに対応

工業デザイン

  • 防振台一体型のプラットフォーム
  • 組み込み型キーボード/モニター
  • コンパクト設計による省設置面積

QA/QC向けに機能を最適化

  • パターン認識機能
  • 生産現場に適した高度なインターフェース
  • インターロックドアによる安全性確保
  • 多言語対応GUI
  • SECS/GEMによる自動制御対応キット