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薄膜とコーティングの試験

バルク材の特性が多くの確立された手法を用いて計測できる一方で、薄膜の材料特性をその場計測できる計装化試験が求められています。

 

先進機能を搭載した装置によって、要求された各種の機械的試験を実施できます。インデンテーション試験、スクラッチ試験、往復動摩耗試験といったすべての試験が、一つのプラットフォームで行えるほか、AFM(原子間力顕微鏡)や光学顕微鏡を組み合わせることで、コーティングの高感度で詳細なイメージングを可能にします。

薄膜・コーティング試験のアプリケーション・ノート

 

新しい薄膜やコーティングが、半導体やディスプレイ、ソーラーパネル、LEDをはじめとする広範な用途で採用されています。バルク材の特性が多くの確立された手法を用いて計測できる一方で、薄膜の材料特性をその場計測できる計装化試験が求められています。ナノ・マイクロテクノロジーの近年の進歩によって、垂直荷重や摩擦力、接触時のAE(アコースティックエミッション)、電気抵抗などを同時に計測できる統合的な試験装置が開発されました。この先進機能を搭載した試験装置では、インデンテーション試験、スクラッチ試験、往復動摩耗試験といった通常の機械的試験が行えるほか、AFMや光学顕微鏡を組み合わせることによって、同じプラットフォームで、コーティングの高感度で詳細なイメージングを可能にします。 アプリケーション・ノート:ブルカーのUMT試験機による薄膜とコーティングの試験をお読みください。

スクラッチ幅計測の例
Example of scratch width measurement