거친 지형을 가진 재료에 대한 EDS 정량화
신뢰할 수 있는 EDS 정량화를 위해 시료와 검출기 형상에 대한 정확한 지식이 필수적입니다. 그러나 거친 지형을 가진 재료의 경우 스펙트럼이 획득되는 지점에서 로컬 샘플 형상을 알기가 어렵습니다. 정량화를 개선하는 한 가지 방법은 샘플 회전으로 여러 스펙트럼을 획득하는 것입니다. 이렇게 하면 샘플 지형이 정량화에 미치는 영향을 흐리게 하여 결과를 스토이치오메트릭 농도에 더 가깝게 제공합니다.
도 1은 거친 샘플 지형 및 인증 된 농도 값 (Element A = 33.4 %, B = 41.3 % 및 C = 질량 퍼센트 25.3 %)을 가진 대용량 합금의 SE 이미지를 제시합니다. 재료 조성물을 평가하기 위해, 샘플 표면에서 5점 스펙트럼을 획득하였다(도 1a). 샘플은 180°로 회전했으며, 5개의 점 스펙트럼은 이전과 거의 동일한 위치에서 추가로 획득됩니다(도 1b). 평균 스펙트럼은 재료의 조성을 주었다 : 요소 A = 33.5 %, B = 40.8 %와 C = 25.7 %는 인증 된 농도에 매우 가깝습니다. 거친 표면을 측정하는 편리한 방법은 브루커의 독특한 EDS XFlash ® FlatQUAD 검출기를 사용하는 것입니다.
도 1a: 거친 지형을 가진 대동맥 시스템의 SE 이미지(스테이지 회전 제외)
도 1b: 거친 지형을 가진 대동맥 시스템의 SE 이미지(180° 스테이지 회전)
정량화 테이블이 있는 EDS 포인트 스펙트럼