SEM 용EDS를 통한 얇은 지질단면의 효율적인 X선 맵핑
SEM 용 EDS는 Bruker ESPRIT 소프트웨어의 이미지 확장 기능을 사용하여 몇 초 혹은 몇 분 내에 전체 씬 섹션(28mm x 48mm)의 요소 분포 맵을 획득할 수 있습니다. 이러한 분석은 시료 내 요소의 분포를 시각화하는데 충분합니다. 그림 1은 2048µs ~ 4µs의 픽셀당 다른 체류 시간마다 획득한 일련의 맵들을 보여줍니다. 결과에 따르면 프레임당 단 몇 초의 획득 시간은 주요 요소 분포를 구별하고 시료의 주 단계와 질감을 식별하는 데 충분하다.
그림 1: 다른 분해능(px) 및 픽셀당 체류 시간(dw)으로 획득된 일련의 X선 원소 지도입니다. 왼쪽 하단의 이미지에는 맨틀 감람암 시료에 대한 위상도 결과입니다.