시료 내의 원소 변화를 관찰하는 능력은 지질 학적 과정과 광석 퇴적 기원을 이해하는 데 중요합니다. SEM에 마이크로 XRF를 통합하는 듀얼 소스 시스템은 ppm 스케일의 주요, 사소한 및 추적 요소를 보여주는 넓은 영역에 원소 X선 매핑을 가능하게 합니다.
그림은 구리(빨강), 칼슘(녹색), 망간(파란색), 실리콘(보라색), 염소(다크 그린)의 원소 분포 정보를 보여주는 이국적인 구리 퇴적물에서 샘플의 마이크로-XRF 넓은 면적 X선 맵(45 x 30mm²)을 나타낸다. 또한, 본 샘플에서는 농도가 너무 낮거나 관련 요소 에너지라인이 너무 높기 때문에 e-빔 EDS에 의해 검출할 수 없는 Co 및 Sr와 같은 미량 원소를 검출할 수 있다. 이러한 정보는 그들의 분포와 mineralogical 및 질감 관계 및 예금 기원의 더 큰 이해를 허용합니다.