반도체 탄탈룸 실리드의 피크 오버랩 해결
탄탈룸 실리시드는 마이크로 일렉트로닉스 및 광학 분야에서 산화 또는 내온 성 코팅에 사용됩니다. 탄탈룸 실리드도 시 웨이퍼와 같은 반도체 재료의 내화상으로 발생할 수 있다.
품질 관리 중에 높은 공간 해상도를 달성하기 위해 분석은 저가속 전압에서 수행되어야하므로 사소한 위상의 식별이 복잡해집니다. 저가속 전압에서 타M 계열 에너지라인만 생성되어 기판 Si Kα 라인과 가중하게 겹칩니다.
기본 요소의 결과EDS 피크는 약간 넓어지고 두 번째 요소의 존재를 마스킹합니다. 이에 비해 Ta와 같은 요소는 우수한 피크 해상도로 인해 QUANTAX WDS를 사용하여 자신있게 식별됩니다.
Alternatives to Wavelength Dispersive Spectroscopy
QUANTAX WDS is no longer available to purchase. However, we have suitable alternatives that cover the benefits of WDS - light element detection, peak deconvolution, trace element detection and efficient X-ray line separation.
To learn more about these solutions view our page Analytical Alternatives to Wavelength Dispersive Spectroscopy.
Information about the end of sales and service lifetime of QUANTAX WDS and XSense can be found here.
