나노 기계 테스트

iTF - 본질적인 박막 기계형 특성 솔루션

기판 무효과 박막 측정

필름 두께 독립 계수 특성화

iTF는 박막 시스템에 가장 다양한 솔루션을 제공하는 브루커의 새로운 분석 소프트웨어 패키지입니다. 2nm에서 2mm까지, 하드에 부드러운 하드에 하드에서 iTF는 분 이내에 정확한 본질적인 박막 계수를 생성합니다. iTF는 하버드 대학의 연구 그룹이 개발하고 Hysitron의 나노 기계 기기의 넓은 범위에 최적화 된 특허 탄성 플라스틱 접촉 모델을 기반으로합니다. 상용화 이후 iTF는 마이크로전자, 자동차, 항공우주, 도장 산업에서 널리 사용되고 있습니다.

기판 효과 무료 박막 측정.

기판 효과 의 정확한 계정

기존의 나노 들여쓰기 분석은 초기 언로딩 세그먼트를 사용하여 순수한 탄성 반응을 나타냅니다. 그러나, 계측기가 박막 시스템에 프로브할 때, 탄성 반응은 실제 접촉보다 훨씬 더 깊은 것으로 구성된 재료의 반응이다. 기존의 나노 들여쓰기 분석을 사용하면 박막 기계적 반응으로부터 편차가 발생합니다. 이 기판 효과는 나노 들여쓰기를 사용하여 필름의 기계적 특성을 이해하기 어렵게 만듭니다. iTF는 레이어 재료 구조를 염두에 두고 압력 분포를 요구하고, 본질적으로 필름 계수들을 계산합니다. 따라서 나노 들여쓰기 분석에서 더 이상 기판 효과가 없습니다.

iTF 소프트웨어.

간단한 작동

샘플을 300mm 웨이퍼 또는 3mm 칩에 넣고 깊이 프로파일 들여쓰기를 수행하고 iTF 소프트웨어를 쿼리하며 박막 계측을 쉽게 사용할 수 있습니다. iTF 소프트웨어는 Hysitron nanoindenter의 모든 파일 형식을 인식하고 여러 샘플 분석을 자동화할 수 있습니다. 간단한 슬라이더 막대는 고속 또는 고정밀 분석을 할 수 있습니다.

클래식 접촉 역학 모델 코어

감소된 탄성 계수와 경도는 나노들여쓰기 침투 깊이의 관점에서 플롯됩니다. 필름과 기판 사이의 인터페이스는 대시 도트라인으로 표시된 그래프에서 볼 수 있습니다. iTF 분석에 의해 분석된 추정필름 계수는 그림자 영역(300 GPa)에 표시되어 있다. 전체 시스템의 탄성 계수 감소의 근사치가 대시 라인으로 표시됩니다.

iTF의 핵심은 계층화된 재료 접촉 솔루션을 기반으로 하는 고전적인 접촉 역학입니다. 다양한 들여쓰기 형상으로 압력 분포 및 경계 조건을 재구성하여 강성, 들여쓰기 부하 및 변위가 각 박막 시스템의 지문이 됩니다. iTF 소프트웨어에서 박막의 들여쓰기 동작의 큰 라이브러리와 나노 들여쓰기 데이터를 일치, 본질적인 박막 계수는 쉽게 파악된다. 고전 접촉 역학의 사용은 또한 필름과 기판 사이의 탄성 불일치의 넓은 범위를 가능하게한다.