Cryo SAS-Kopie

CryoSAS

Bruker Optics의 극저온 실리콘 분석 시스템(CryoSAS)은 실리콘의 저온(<15K) 불순물 분석에 사용되는 전용 올인원 시스템입니다. CryoSAS는 산업 환경에서 운용하도록 최적화된 제품입니다.

CryoSAS는 Bruker의 고성능 FTIR 분광분석기와 액체 헬륨이 필요하지 않은 내장형 폐쇄 사이클 극저온 냉각 기술이 결합된 제품입니다. CryoSAS의 모든 구성품은 최첨단 제품이지만 검증된 기술을 활용하여 열악한 실리콘 생산 환경에서 어려운 분석을 완수하도록 하였습니다. CryoSAS는 분석 결과의 정확한 보고 등 높은 수준의 자동화 환경에서 운용할 수 있습니다.

Bruker의 판매 팀에 연락하셔서 CryoSAS에 대해 자세히 알아보십시오!

주요 특징:

높은 감도:

CryoSAS는 ASTM/SEMI MF 1630 표준에 따른 저농도 ppta 수준까지 얕은 불순물(예, 붕소, 인 등)을 분석합니다. 또한 ASTM/SEMI MF 1391 표준에 따른 저농도 ppba 수준까지 탄소와 산소를 동시에 분석합니다.

Cryo SASspec1Cryo SASspec2

저온(~12 K)에서 이루어진 탄소(위 참조)와 붕소 및 인(아래 참조) CryoSAS 측정 결과.

 

 

폐쇄 사이클 극저온 냉동 시스템: 값비싼 극저온유체 불필요

디텍터와 샘플 챔버 냉각을 위한 신뢰성 높은 폐쇄 사이클 극저온 냉각 시스템. 액체 헬륨으로 냉각되는 냉동 시스템에 비해 폐쇄 사이클 시스템은 연간 50,000 유로 이상을 절약할 수 있습니다.

Cryo SAS Probenraum

자동화된 9개 위치 샘플 홀더가 구비된 CryoSAS 저온 샘플 칸.

 

 

Cryo SASsoftware

현재 적재된 샘플과 선택된 분석 방법이 표시된 CryoSAS 메인 소프트웨어 화면.

 

 

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Stainless steel sample chamber design:
easy sample access

Proven sample chamber design with stationary optics and automated sample head. The large inner diameter of the sample chamber allows for easy sample holder access.

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Dry fore pump and turbo pump:
simple and clean vacuum system operation

Fast and reliable evacuation via turbodrag pump and dry fore pump.

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Robust, precision stepper motor stage with nine position sample holder:

The sturdy translation stage interfaced to the sample holder allows multiple sample analysis. The high torque motor and solid translation mechanism provide precise sample indexing and years of reliable functionality. Samples are easy to install and remove and the sample holder is nearly effortless to attach in the sample chamber. Gold-coated OFHC copper design of the sample holder ensures uniform temperatures.

편리한 사용:

CryoSAS는 산업 환경에서 운용하도록 최적화된 제품입니다. 모든 진공 및 냉동 장치를 PLC로 제어합니다. 냉각과 측정 시작은 간단히 누름버튼을 작동하면 이루어집니다. 사용자는 분광분석 전문가 또는 진공 전문가일 필요가 없습니다.

전용 CryoSAS 소프트웨어는 산업 품질관리 수요를 충족하도록 고안되어 있습니다. 사용이 편리하고 터치 스크린으로 작동할 수 있습니다. 사용자는 원하는 분석 방법을 선택하고 샘플 정보를 입력한 후 시작 버튼을 누르기만 하면 됩니다.  CryoSAS가 자동으로 샘플을 냉각시키고 적외선 측정을 시작하며 결과를 계산하고 분석 보고서를 생성합니다.

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Specifications

Spectral range: 1500 – 280cm-1 optimized for the detection of

  • group III and V shallow impurities in single crystal Si according to ASTM/SEMI MF1630.  For wedged samples with a thickness of approx.
    3mm, the following detection limits can be reached:
    - 10ppta Phosphorus
    - 30ppta Boron
  • substitutional Carbon according to ASTM/SEMI
    MF1391. This method requires a Carbon free
    FZ reference sample with thickness and surface
    properties comparable to the sample specimen.
    For a wedged sample with a thickness of approx. 3mm, Carbon
    concentrations down to 20ppba can be detected.
Cryo SASreport

모든 관련된 정보와 결과가 포함된 통상적인 CryoSAS 분석 보고서

 

 

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