高空間分解能EDSでの最速な定量および定性分析
オンデマンドセッション - 44分
高空間分解能EDSでの最速な定量および定性分析
バルク試料におけるナノサイズ構造のEDSマッピングを取得するには、高分解能SEM像の取得とEDS分析を同時に達成する必要があるため、非常に困難であることが知られています。典型的な代替手段は、薄膜試料のSTEM‐EDSマッピングです。
新たにリリースしたBruker XFlash®7 EDS検出器は、業界最大の立体角、高速パルス処理速度が特長であり、高収集効率と高感度を保証します。この組み合わせは、低加速電圧や低プローブ電流条件でもX線の高カウント取得が可能であり、高空間分解能測定に最適です。
このWebinarでは、２種類のバルク試料の高空間分解能測定例を用いて、SEMでの分析能力を最大限に活用する方法をご紹介します。さらに、リアルタイムでEDSマッピングを取得するソフトウェアオプションであるESPRIT LiveMapもご紹介します。
誰が参加する必要がありますか？
- SEM, TEM-EDS技術に関心のあるすべての分析分野に属する方
- 元素分析に関心のある材料科学および半導体分野に属するすべての方
ウェビナーでお会いできるのを楽しみにしています。
Bruker Nano Analyticsチーム
図1: EDSの空間分解能でバルク半導体材料のCo、Si、Wの分布を示す化学マップ。
図2: SEMで高倍率で取得したNi基単結晶超合金のNiおよびCrの分布図
発表者
中島里絵
EMAアプリケーションエンジニア
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