X射线缺陷检测

QC-RT

轻松识别高价值衬底中的缺陷

X射线衍射成像 (XRDI) 检测系统

QC-RT

布鲁克QC-RT采用先进的X射线衍射成像(XRDI)技术,在反射模式下精确检测诸如CdTe等高价值衬底及致密材料衬底中的潜在缺陷。与光学检测技术不同,得益于X射线衍射的本征特质,无需对晶圆进行蚀刻或抛光处理,即可清晰呈现晶圆内部的缺陷情况。为晶圆质控提供了更为高效、精准的无损检测解决方案。

无损的
晶圆检测技术
在切换到高清细检模式前,快速定位缺陷区域
优化的
不同分辨率相机的切换
无需人工干预,兼顾高性能和效率
定制化的
全自动流程
减少从上样至结果报告生成的人工干预
Features

碲化镉(CdTe)衬底的取向变化和缺陷检测

在红外探测领域,尤其是夜视技术及薄膜太阳能电池中,CdTe和CdHgTe材料的应用极为广泛。为了确保这些应用的性能,生长出高质量的晶体结构显得尤为关键。布鲁克的QC-RT系统不仅为这类晶体提供精准的质量监控,还助力于改进这些材料的制造工艺,推动化合物半导体材料技术的进步与发展。

Support

How Can We Help?

Service and Application Support to Optimize Tool Utilization

The decision to invest in high-performance metrology is based on more than instrument performance and price. Bruker is committed to keeping your tool running at the peak of up-time and productivity. We have a highly educated worldwide team of service and support personnel that takes great pride in first-time solution of issues. Our variety of service coverage programs can be customized to match your specific requirements, including optimization of tool performance, recipe writing, and in-person technical support visits.

Bruker tailors services to your needs:

  • Priority technical support
  • Advance replacement parts and assemblies stored in regional warehouses for rapid response times
  • Application and training services

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