X射线缺陷检测

QC-RT

轻松识别高价值衬底中的缺陷

X射线衍射成像 (XRDI) 检测系统

QC-RT

布鲁克QC-RT采用先进的X射线衍射成像(XRDI)技术,在反射模式下精确检测诸如CdTe等高价值衬底及致密材料衬底中的潜在缺陷。与光学检测技术不同,得益于X射线衍射的本征特质,无需对晶圆进行蚀刻或抛光处理,即可清晰呈现晶圆内部的缺陷情况。为晶圆质控提供了更为高效、精准的无损检测解决方案。

无损的
晶圆检测技术
在切换到高清细检模式前,快速定位缺陷区域
优化的
不同分辨率相机的切换
无需人工干预,兼顾高性能和效率
定制化的
全自动流程
减少从上样至结果报告生成的人工干预
Features

碲化镉(CdTe)衬底的取向变化和缺陷检测

在红外探测领域,尤其是夜视技术及薄膜太阳能电池中,CdTe和CdHgTe材料的应用极为广泛。为了确保这些应用的性能,生长出高质量的晶体结构显得尤为关键。布鲁克的QC-RT系统不仅为这类晶体提供精准的质量监控,还助力于改进这些材料的制造工艺,推动化合物半导体材料技术的进步与发展。

Support

How Can We Help?

Bruker partners with our customers to solve real-world application issues. We develop next-generation technologies and help customers select the right system and accessories. This partnership continues through training and extended service, long after the tools are sold.

Our highly trained team of support engineers, application scientists and subject-matter experts are wholly dedicated to maximizing your productivity with system service and upgrades, as well as application support and training.

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