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先进的 PSS 检测技术

利用AFM的超高分辨率提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量,配备齐全的AutoMET测试分析软件,自动测试每一个样品细节,并且高效迅速地完成数据分析获得完整的PSS信息:

  • 高度
  • 侧壁角度
  • 表面轮廓
  • 直径(底部尺寸)
  • 间距

Dimension Edge PSS AFM配备自动检测成像软件,提供无与伦比的高精度测量数据,满足技术要求,噪声水平<0.2nm,提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量;样品台可容纳2-6-英寸的wafer,可以灵活选择样品尺寸进行测量;AutoMET自动测量分析软件可以同时测量92-英寸的wafer

 

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Dimension Edge PSS AutoMET software and system with 9 wafer chuck.