测试与测量

三维光学轮廓仪

三维表面计量与检测的全球领导者

概览

快速的非接触式三维轮廓表征

布鲁克是三维表面计量与检测方案的全球领导者,提供快速、可信赖及易用的非接触式三维轮廓表征方案。样品小至显微视场下的MEMS结构,大到完整的机械引擎。这些方案为研发、制造及质量控制的研究者和工程师们提供了业界领先的灵敏度和稳定性。而这正是其它计量方法在精细三维表面测量应用方面所面临的挑战。

我们的光学轮廓仪基于Wyko®专有核心技术,历经十代积累,提供了其他测量系统无法企及的高精度与稳定性。在今日,这些正成为精密表面三维测量的主流应用场景。

产品

找到最适合您的三维光学轮廓仪

应用

应用

不同领域专用的表面计量方案

精密加工

将精密加工零件的表面纹理和几何尺寸控制在极小的范围内。我们的计量级测量系统为监控、跟踪、过程评估提供了充分的反馈和报告,符合GD&T规范。

微机电系统和传感器

提供高通量和高重复性的刻蚀深度、膜厚、台阶高度及表面粗糙度测量,还提供微机电系统和光学微机电系统的高级关键尺寸计量。光学轮廓仪能监控设备从晶圆到最终产品的整个过程,甚至包括透明封装。

骨科及眼科

在整个生命周期内,对植入材料及组件进行精确、可重复的测量。我们的白光干涉光学轮廓仪支持研发、质量保证及质量控制领域用户实现各种场景的应用。应用场景从透镜和注射模具的表面参数表征,到医疗器械的表面光洁度验证和磨损都有涵盖。

摩擦磨损

测量、分析并控制摩擦、磨损、润滑和腐蚀对材料/组件的性能及寿命的影响。定量测定磨损,及快速判定各种表面类型是否符合要求,包括反光表面、平滑表面和粗糙表面等。

半导体

通过自动化、非接触、晶圆级别的计量系统,为前端和后端制程提高产率及降低成本。测量化学机械抛光后的样品平面度检测;凸块高度、共面性及缺陷鉴定和分析;以及各种结构的关键尺寸测量。

光学

通过亚纳米尺度的精确、可重复的表面粗糙度测量,更好理解缺陷的根本来源,从而优化加工过程。我们的非接触计量系统能够满足从小型非球面和自由曲面光学器件到复杂几何形状光学元件、衍射光栅和微透镜等样品日益严格的要求和ISO规范。

资源

白光干涉

适用各种表面的精密三维形貌计量方法

通用扫描干涉模式(USI)

表面自适应扫描模式,同时获得亚纳米表面形貌及大台阶高度

Elite增强成像

在保持高精度白光干涉计量结果的同时获得高保真光学成像结果

观看我们的 3D 光学探查器网络研讨会

我们的网络研讨会涵盖最佳实践,介绍新产品,为棘手的问题提供快速解决方案,并为新的应用程序、模式或技术提供想法。

推荐

耶路撒冷希伯来大学纳米制造系是一个为数百名学生提供服务的实验室。我们在这里的每一件设备都经过精心挑选,坚固耐用,用户友好,高效,并提供了良好的技术支持。光学探查器布鲁克轮廓GT满足所有这些要求清楚:我们的学生只是喜欢使用它。在技术支持方面,布鲁克不仅是设备的制造商,而且都是我们的合作伙伴。

希蒙·埃利亚夫博士,耶路撒冷希伯来大学,ContourGT所有者

得益于 WLI 探查器的高质量地形,我们能够揭示我们加工工艺在加工技术陶瓷零件上留下的细微颗粒去除和常规图案。它使我们能够发现数控机床留下的任何轻微偏差或微小缺陷,以便我们更好地了解根本原因,并可以进行充分的修复或优化制造流程。

法比安·科洛格,质量和开发工程师,微塞特克,ContourGT所有者

使用轮廓精英 K 干涉仪,与其他技术相比,在很短的时间内对微铣表面进行精确的粗糙度测量非常容易。

贾科莫·迪多尼博士,意大利米兰诺

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