过去四十多年间,布鲁克的台阶仪研制和生产一直在理论和实践上不断实现创新性成果——首台基于微处理器控制的轮廓仪,首台实现微米测量的台阶仪,首台可以达到3D测量的仪器,首台个人电脑控制的轮廓仪,首台全自动300mm台阶仪——DektakXT延续了这种开创性的风格,全新的DektakXT成为世界上第一台采用具有单拱龙门式设计,配备全彩HD摄像机,并且利用64位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。

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Close up photograph of Dektak stylus tip measuring features on a silicon wafer.
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Photograph of tip exchange on DektakXT. Tip exchange assembly makes changing tip sizes easy.

DektakXT仪器特性

无与伦比的性能和优于4埃(<4 Å)的测量重复性

  • 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性
  • 先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标杆

高效率且易于使用

  • 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
  • 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
  • 自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针

探针式轮廓仪的全球领导者

  • 性能卓越,物超所值
  • 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障