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Stylus-Profilometer

Brukers Dektak®-Stylus-Profilometer sind das Ergebnis von mehr als vier Jahrzehnten proprietärer Technologieentwicklungen. Sie ermöglichen wiederholbare, genaue Messungen auf verschiedenen Oberflächen, von der traditionellen Charakterisierung der 2D-Rauheit und der Stufenhöhe bis hin zu fortschrittlichen 3D-Mapping- und Schichtspannungsanalysen.

Dektak -Stylus-Profilometer sind weithin als überlegene Lösung für die Messung von Dicke, Spannung, Rauheit und Form von Dünnschichten in Anwendungen anerkannt, die von der Überprüfung von Bildungsforschungsarbeiten bis zur Kontrolle von Halbleiterprozessen reichen. In jüngerer Zeit haben sich Dektak-Systeme als überlegene Charakterisierungsinstrumente für den wachsenden Solarzellenmarkt erwiesen und wurden von vielen großen Herstellern von Photovoltaik-Solarzellen übernommen.

 

 

Dektak X Tproduct

DektakXT

Stylus-Tischprofilometer

Das DektakXT®-Stylus-Profilometer von Bruker verfügt über ein revolutionäres Design, das eine Wiederholgenauigkeit von 4 Angström ermöglicht. Dieser bedeutende Meilenstein in der Leistung von Stylus-Profilometern ist die Krönung von vierzig Jahren Innovation und Branchenführerschaft von Dektak®.

Durch seine Kombination aus Branchenneuheiten bietet DektakXT die ultimative Leistung, Benutzerfreundlichkeit und Wertschöpfung, um eine bessere Prozessüberwachung von Forschung und Entwicklung bis hin zur Qualitätskontrolle zu ermöglichen. Die in Dektak integrierten technologischen Durchbrüche ermöglichen kritische Oberflächenmessungen im Nanometerbereich für die Mikroelektronik-, Halbleiter-, Solar-, High-Brightness-LED-, Medizin- und Materialwissenschaftsbranchen.

Dektak X T Lproduct

Dektak XTL

Prüfmittelfähiges QA/QC-Profilometer für optimale 300-mm-Leistung

Das Dektak-XTL-Stylus-Profilometer bietet eine extrem genaue, wiederholbare und reproduzierbare Messtechnik für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit der Möglichkeit, Proben bis zu 350 mm x 350 mm aufzunehmen, bietet dieses System die legendäre Dektak-Leistung bei der Herstellung von 200 mm und 300 mm großen Wafern.

Das Dektak XTL verfügt über eine integrierte Isolierung mit verriegelbaren Türen und ist somit ideal für die heutigen anspruchsvollen Produktionsumgebungen geeignet. Die Architektur mit zwei Kameras ermöglicht eine verbesserte räumliche Wahrnehmung und der hohe Automatisierungsgrad steigert den Fertigungsdurchsatz.