SÉRIE DE PICOINDENTERS SEM

Hysitron PI 80

Instrument de base pour les essais nanomécaniques in-situ
INSTRUMENT DE TEST NANOMÉCANIQUE IN-SITU

PicoIndenter SEM Hysitron PI 80

Le PicoIndenter SEM PI 80 de Bruker est un instrument d'essai nanomécanique à détection de profondeur spécialement conçu pour augmenter les capacités d'imagerie des microscopes électroniques à balayage (SEM, FIB/SEM, PFIB). Avec cet outil de nanoindentation de base, il est possible de réaliser des essais nanomécaniques quantitatifs in situ tout en produisant simultanément des images avec le SEM. Doté du transducteur capacitif de pointe de Bruker, le PI 80 offre des performances exceptionnelles et une stabilité supérieure à l'échelle nanométrique. Sa conception compacte et discrète en fait l'instrument idéal pour les SEM à petite chambre, ainsi que pour les microscopes optiques et Raman autonomes, les lignes de faisceaux, etc. Avec sa combinaison de fonctionnalités, de modes de test et d'accessoires optionnels, le PI 80 SEM PicoIndenter constitue une excellente introduction aux tests avancés de propriétés nanomécaniques à l'intérieur de votre SEM.

Centrale
plate-forme d'essais nanomécaniques in-situ
Prend en charge les modes de test mécanique standard, les modes de contrôle ainsi que les sondes interchangeables de diverses géométries.
Simple
système nécessitant peu d'entretien
Permet de tester les propriétés nanomécaniques de manière pratique et fiable.
Compact
conception à profil bas
Permet une installation facile, idéale pour les SEM à petite chambre, les microscopes optiques et Raman, les lignes de faisceaux, etc.

Données Mécaniques in-situ Synchronisées avec l'Imagerie SEM

Échantillon de micropoutre fraisée par FIB en bout de ligne (BEOL) après un test mécanique et courbe correspondante de charge par rapport au déplacement. Une délamination interfaciale est observée entre les couches de cuivre et le diélectrique fragile.

Les données mécaniques in-situ acquises avec l'Hysitron PI 80 sont synchronisées avec l'imagerie SEM et affichées en format vidéo côte à côte. La simultanéité des mesures mécaniques et des données SEM permet une compréhension plus complète du comportement de déformation du matériau. Dans l'exemple de gauche, les discontinuités dans les données de charge-déplacement sont corrélées au début de la fracture observée dans une poutre fraisée par FIB contenant des interconnexions en cuivre et un matériau diélectrique fragile. 

Conçu pour Améliorer Votre SEM

Grâce à la forme compacte du transducteur capacitif de Bruker, le Hysitron PI 80 peut être monté directement sur la platine du SEM sans être un élément permanent du microscope. Les platines de positionnement de l'échantillon s'adaptent à des échantillons jusqu'à 20 mm d'épaisseur tout en assurant un positionnement précis de l'échantillon sur plus de 3 mm dans les trois directions (XYZ). En outre, le couplage mécanique de la platine d'échantillonnage et du transducteur fournit une plateforme stable et rigide pour les tests nanomécaniques. Globalement, cet instrument in situ permet une inclinaison de la platine et une distance de travail optimisées pour l'imagerie SEM complémentaire et les tests nanomécaniques standard.

Upgrade Options and Add-Ons

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