Série SEM PicoIndenter

Hysitron PI 80

Instrumento principal para testes nanomecânicos in situ

Destaques

Instrumento de Teste Nanomecânico In-Situ

Hysitron PI 80 SEM PicoIndenter

O PI 80 SEM PicoIndenter da Bruker é um instrumento de teste nanomecânico com detecção de profundidade projetado especificamente para aumentar os recursos de imagem dos microscópios eletrônicos de varredura (SEM, FIB/SEM, PFIB). Com esta ferramenta de base de nanoindentação, é possível realizar testes nanomecânicos in situ quantitativos ao mesmo tempo em que imagens com o SEM. Apresentando o transdutor capacitivo líder do setor da Bruker, o PI 80 oferece desempenho excepcional e estabilidade superior em nanoescala. Seu design compacto e discreto torna o instrumento ideal para SEMs de pequena câmara, bem como microscópios Raman e ópticos autônomos, linhas de luz e muito mais. Com sua combinação de recursos, modos de teste e acessórios opcionais, o PI 80 SEM PicoIndenter oferece uma excelente introdução ao teste de propriedades nanomecânicas avançadas dentro do seu SEM.

Core
plataforma de testes nanomecânicos in situ
Suporta modos de teste mecânico padrão, modos de controle e sondas intercambiáveis em uma variedade de geometrias.
Simples
sistema de baixa manutenção
Permite testes fáceis de usar e confiáveis de propriedades nanomecânicas.
Compacto
design discreto
Fornece fácil instalação ideal para SEMs de pequena câmara, microscópios Raman e ópticos, linhas de luz e muito mais.

Características

Dados mecânicos in-situ sincronizados com imagens SEM

FIB-milled back-end-of-line (BEOL) microbeam sample after mechanical testing and the corresponding load vs. displacement curve. Interfacial delamination is observed between the Cu layers and the brittle dielectric.

Os dados mecânicos in-situ adquiridos com o Hysitron PI 80 são sincronizados com a imagem SEM e exibidos no formato de vídeo lado a lado. Medições mecânicas simultâneas e dados SEM permitem uma compreensão mais completa do comportamento da deformação do material. No exemplo à esquerda, as descontinuidades nos dados de deslocamento de carga estão correlacionadas com o início da fratura observada em uma viga fresada com FIB contendo interconexões de cobre e material dielétrico frágil.

Projetado para aumentar seu SEM

Com a forma compacta do transdutor capacitivo da Bruker, o Hysitron PI 80 pode ser montado diretamente na platina SEM sem ser um acessório permanente no microscópio. Os estágios de posicionamento de amostra acomodam amostras de até 20 mm de espessura, proporcionando um posicionamento preciso da amostra em mais de 3 mm em todas as três direções (XYZ). Além disso, o acoplamento mecânico do estágio de amostra e do transdutor fornece uma plataforma estável e rígida para testes nanomecânicos. No geral, este instrumento in-situ permite a inclinação do palco e a distância de trabalho otimizadas para imagens SEM complementares e testes nanomecânicos padrão.

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