Hysitron PI 80 用于SEM的纳米压痕仪
Bruker的PI 80 SEM PicoIndenter是专门设计用于增强扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM、PFIB）的成像能力的纳米力学测试设备。有了这种基本的纳米压痕工具，可以在用SEM成像的同时进行定量的原位纳米机械性能测试。PI 80采用Bruker业界领先的电容式传感器，在纳米尺度上提供了卓越的性能和稳定性。其紧凑、扁平的设计使该仪器非常适合小腔室SEM，以及独立的拉曼和光学显微镜、光束线等。凭借其功能、测试模式和可选附件的组合，PI 80 SEM PicoIndenter为SEM内部的高级纳米机械性能测试提供了良好的支持。
与SEM图像同步的原位力学测试数据
用Hysitron PI 80采集的原位机械数据与SEM成像同步，并以并排视频格式显示。同时进行的机械测量和SEM数据能够更全面地了解材料的变形行为。在左边的例子中，载荷位移数据中的不连续性与在含有铜互连和脆性介电材料的FIB悬臂梁中观察到的断裂起始点相关。
专门用于增强您的扫描电镜
凭借Bruker紧凑的专利电容式传感器，Hysitron PI 80可以直接安装在SEM台上，而不是在显微镜腔体中的永久固定。样品台可容纳厚度高达20毫米的样品，同时在所有三个方向（XYZ）上提供超过3毫米的精确样品移动范围。此外，样品台和传感器的机械集成为纳米机械测试提供了一个稳定、刚性的平台。总的来说，这种原位仪器能够优化载物台倾斜和工作距离，以进行同步SEM成像和标准纳米力学测试。
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Frequently Asked Questions
PI 80 supports indentation, compression, bending, tension, fatigue, and electrical contact measurements. These modes enable quantitative nanomechanical property measurements of hardness, elastic modulus, yield strength, fracture toughness, creep exponent, and stress relaxation.
The instrument mounts directly to the SEM stage with a compact, low‑profile design suited to smaller chambers. A rigid mechanical coupling between stage and transducer supports stable testing while maintaining working distance and tilt.
PI 80 provides closed‑loop displacement control, closed‑loop load control, and open‑loop load control with a maximum load of 10 mN and up to 5 µm of displacement.
PI 80 offers a broad catalog of tips in multiple geometries and materials, including diamond, sapphire, vanadium carbide, boron nitride, tungsten, and steel.
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