FastScan Pro Header mockup 1154x400

Dimension FastScan Pro

On Off Bruker FastScan Pro AFM Brochure

Imagerie haute résolution et mesures les plus précises

PeakForce Tapping® permet une image AFM cohérente et haute résolution.


Slide 1 mockup short

La technologie unique permet d'identifier la force de n'importe quel atome sur votre échantillon.



Le contrôle de l'échantillon de sonde le plus précis permet la plus large gamme de types d'échantillons, des polymères doux, des films minces et des échantillons électriques à des matériaux très résistants.


Contrôle précis de la sonde à l'échantillon et des technologies de sonde unique.



Fournir les forces d'imagerie disponibles les plus faibles et la longue durée de vie de la pointe de la sonde sur des centaines d'emplacements et de balayages de données.

FastScan Pro ScanAsys tAir PFT v1

Substrat en verre à faible rugosité Rq=0.194 nm, Ra=0.153 nm.

Résultats uniques et quantitatifs, quel que soit votre mesure

La sensibilité à la force piconewton de PeakForce Tapping fournit des données quantitatives.


FastScan Pro trench resolution v2

Les sondes ScanAsyst® et Bruker standard atteignent facilement le fond des tranchées, ici une profondeur de ~65nm et une largeur de ~50 nm.

 

Mesurez les étapes sous-nanométriques dans les tranchées à haut rapport d'aspect.



La topographie AFM de la résolution la plus élevée atteint une métrologie nanométrique avec une résolution Angstroms. En outre, les sondes industrielles Bruker et PeakForce Tapping permettent une métrologie de profondeur de rapport haute qualité non disponible avec d'autres systèmes dans cette classe.

Analyser de gros volumes de données avec une résolution cohérente dans la production.



La plate-forme Dimension permet de charger des échantillons simples ou multiples plus petits pour une efficacité et un débit plus élevé en maintenant les performances de la technologie FastScan et Icon.

FastScan Pro 3D geometry v1

Le fonctionnement semi-automatisé 24h / 24 et 7j / 7 permet de caractériser la géométrie 3D pour le contrôle de processus.

Facile à utiliser, faire de chaque utilisateur un expert AFM

Obtenez des mesures précises et précises, quel que soit votre niveau d'expérience AFM

FastScan Pro Recipe Window v1

Fenêtre de recette montrant la disposition basée sur la plaquette pour des emplacements de mesure X-Y précis et définis par l'utilisateur dans une plaquette.

Éliminer la complexité du fonctionnement de l'AFM.



Les algorithmes ScanAsyst, associés au logiciel AutoMET, surveillent automatiquement et en continu la qualité de l'image et procèdent aux réglages nécessaires.

Automatisez les mesures sur plusieurs échantillons.



Le logiciel de recette complète AutoMET ™ offre une métrologie rapide et automatisée, un fonctionnement simple et une adaptabilité AFM pour une capture facile des mesures critiques sur la qualité.

FastScan Pro Recipe Window for wafers v1

La création facile de recettes de mesure permet aux ingénieurs de définir l'emplacement par nom, d'assigner tout type et nombre de mesures à chaque emplacement.

Plate-forme la plus fiable et support inégalé

Dédié à vous tenir au courant et à vous aider dans vos défis de fabrication.

FastScan Pro AFM 30 years medallion v1

Réduire les coûts grâce à l'efficacité opérationnelle.



La plate-forme Dimension a la plus grande base installée de n'importe quel AFM dans les industries du semi-conducteur, du stockage de données, de la HB-LED et des polymères.

Apps team v2


Profitez du large éventail de connaissances des applications industrielles de notre personnel de soutien.



Les centres de formation et de service à travers le monde, plus un site Web de support dédié, vous garantissent un soutien système, en temps opportun, personnalisé et personnalisé.