Dektak XTL Automation
Dektak XTL bannerv v1

La nouvelle norme en matière de profilométrie à stylet


The Dektak XTL™ stylus profiler provides extremely accurate, repeatable, and reproducible metrology for a wide range of applications. With its ability to accommodate samples up to 350mm x 350mm, this system finally brings legendary Dektak performance to 200mm and 300mm wafer manufacturing.


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DektakXTL operator v1

De nouvelles fonctionnalités logicielles font du Dektak XTL le profileur de stylet le plus puissant et le plus facile à utiliser. Le système utilise le logiciel Vision64 qui est entièrement compatible avec la ligne de profileur optique de Bruker. Le logiciel Vision64 permet des sites de mesure illimités, la cartographie 3D et une caractérisation hautement personnalisée avec des centaines d'outils d'analyse intégrés.

Utilisez également le logiciel Vision Microform pour mesurer des formes telles que le rayon de courbure. Utilisez la reconnaissance de forme pour minimiser les erreurs de l'opérateur et améliorer la précision de l'emplacement de mesure. La collecte de données et l'analyse 2D et 3D sont regroupées dans un progiciel avec un flux intuitif. Chaque système est livré avec une licence logicielle Vision qui peut être installée sur un PC séparé avec Windows 7 OS afin que l'analyse des données et les rapports puissent être créés sur votre bureau.

 

 

DektakXTLVision64 screenshot

Avec sa combinaison unique de performance supérieure et de facilité d'utilisation, le Dektak XTL est la nouvelle norme de surveillance industrielle des dépôts de couches minces dans les industries des écrans tactiles, solaires, à écran plat et semi-conducteurs pour la recherche et l'AQ / CQ.

La nouvelle norme en matière de profilométrie à stylet

Le profileur DektakXT™ à stylet fait appel à une conception révolutionnaire qui permet d'obtenir une répétibilité incomparable à moins de cinq angströms (<5Å) avec une amélioration des vitesses pouvant atteindre 40%. Ce jalon majeur sur le plan des performances des profileurs à stylet est le résultat de quarante années d'innovation de la marque Dektak et de leadership dans cette industrie.