探针式轮廓仪

Dektak XTL探针式轮廓仪

针对300mm尺寸样品进行优化,用于质量保证/质量分析的探针式轮廓仪
Dektak XTL

亮点

Dektak XTL探针式轮廓仪

Dektak XTL 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品,为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计,具有易用的联锁门,是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力,其高自动化水平可最大限度地提高测试通量。

鲁棒
自动化设置和操作
基于参考位置和众多测量位置进行编程,以最大限度地提高测试通量并最大限度地减少出错。
摄像机控制
更快地简化测量设置和定位到感兴趣点。
容易
分析和数据收集
自动执行分析程序,仅报告复杂样本上所需的特征。

特点

特征

业界最佳自动化和分析软件

增强的软件功能使 Dektak XTL 成为功能最强大、最容易使用的探针式轮廓仪。该系统利用 Vision64 软件,通过数百种内置分析工具实现众多的测量位点、3D成像和高度自定义的特征分析。Vision64软件还能测量形状,如曲率半径。模式识别可最大限度地减少操作员误差并提高测量位置精度。集成化的软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。

Vision64 生产界面。

无与伦比的探针技术

操作员将 300mm 晶圆装载到 Dektak XTL 上。

Dektak XTL 以 50 多年的探针式轮廓仪的专业知识和生产设施的应用程序定制为基础,以满足当今和未来严格的行业路线图。300 毫米高精度编码 XY样品台为制造商提供了满足严格计量研发要求的可靠工具。Dektak 的双摄像头控制与高清放大双视场相机提供增强的空间感知。实时视频中的点击定位使操作员能够快速将样品移动到正确的位置,以便快速轻松地进行测量设置和自动化编程。该系统的大型联锁门为样品装载/卸载提供了安全、方便的访问。

其他硬件功能包括:

  • 单拱形架构和集成振动隔离系统,实现行业领先的性能
  • 快速更换自对齐探针
  • 高精度编码 XY 样品台,实现更快的自动数据收集
  • N-Lite 低力,采用软触控技术,具有 1mm 测量范围,可同时用于测量精密和高垂直范围样品

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