触針式プロファイリングシステム (膜厚段差計・粗さ計・表面形状粗さ計)

Dektak XTL

最大300 mmの性能を備えたゲージ対応QA/QC向け触針式プロファイラー
Dektak XTL

ハイライト

Dektak X

触針式プロファイリングシステムDektak XTLは、正確度、繰り返し性、再現性が極めて高く、幅広い用途に対応する計測システムです。350 mm x 350 mmまでのサンプルを搭載できるため、定評あるDektakシステムの性能を200 mmおよび300 mmウエハ製造にも活用できます。インターロックドアによる隔離機能を備えたDektak XTLは、要求の厳しい現在の生産環境に最適です。カメラ2台の構成により空間認識性能が上昇し、高度な自動化により製造スループットが向上します。

 

卓越した性能と使いやすさを兼ね備えたDektak XTLは、タッチパネル、太陽電池、フラットパネルディスプレイ、半導体分野の産業用薄膜形成モニタリングの研究およびQA/QCでの評価において、新たな標準装置となる製品です。

 

耐環境
要求の厳しい製造現場の環境に最適
Dektak XTLは、設置面積が狭く、スライドドア、カバーと統合された防振台により、今日の要求の厳しい製造現場の環境に最適です。
空間認識
デュアルカメラ構造
デュアルカメラアーキテクチャは、空間認識の向上を可能にし、高度な自動化により製造スループットを向上させます。
簡単
分析とデータ収集
複雑なサンプルに対して、解析ルーチンを自動化し、必要な機能のみを報告します。

特長

機能

業界最高の自動化・分析ソフトウェア

ソフトウェアの拡張機能により、Dektak XTLは最も強力で最も使いやすいスタイラスプロファイラとなりました。このシステムは、Brukerの光学プロファイラ製品と完全に互換性のあるVision64ソフトウェアを使用しています。 Vision64ソフトウェアは、無数の測定サイト、3Dマッピングのほか、何百もの内蔵分析ツールで高度にカスタマイズされた特性評価を可能にします。

また、Vision Microformソフトウェアを使用して曲率半径などの形状を測定することもできます。オペレータのエラーを最小限に抑え、測定位置の精度を高めるためにパターン認識を使用します。データ収集と2Dおよび3D解析は、直感的な流れで1つのソフトウェアパッケージにまとめられています。各システムには、Windows 10 OSを搭載した別のPCにインストールできるVisionソフトウェアライセンスが付属しているので、データ分析とレポートをデスクで作成できます。

Vision64アドバンスドプロダクションの操作画面

比類のないスタイラステクノロジー

デクタックXTLに300mmウエハを積み込むオペレータ。

Dektak XTLは、50年以上にわたる触針式スタイラスの開発実績と生産設備向けのアプリケーションのカスタマイズを基に設計されており、現在および将来の厳しい業界のロードマップに対応しています。300ミリの高精度エンコードされたXYステージングは、厳しいゲージR&R要件を満たすための信頼性の高いツールを提供します。高倍率デュアルビューカメラを搭載したDektakのデュアルカメラコントロールは、空間認識機能を強化。ライブビデオでのポイントアンドクリックによる位置決めにより、オペレータは迅速で簡単な測定セットアップと自動化プログラミングのために、サンプルを適切な位置に素早く配置することができます。システムの大きなインターロックドアは、サンプルのロード/アンロードのための安全で簡単なアクセスを提供します。

その他のハードウェア機能は以下の通りです。

  • 業界をリードする性能を実現するシングルアーチアーキテクチャと防振構造内蔵
  • クイックチェンジセルフアライメントスタイラス
  • 高精度エンコードされたXYステージにより、より迅速な自動データ収集を実現
  • ソフトタッチ技術と1mmの測定範囲を持つN-Liteの低力は、繊細で高垂直範囲のサンプルを測定するために同時に使用することができます。

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