X線回折(XRD)

DIFFRAC.XRRソフトウェア

DIFFRAC.XRRソフトウェアはX線反射率測定結果 (XRR) 解析用の多機能かつ使いやすいソフトウェアスイートです

ハイライト

包括的XRR解析

DIFFRAC.XRRはユーザーの要望に応える2つの解析アプローチを搭載:

  • 高速フーリエ変換(FFT)法により、X線反射率(XRR)曲線からマウス操作だけで素早く膜厚を推定
  • 動力学的散乱理論に基づくサンプル・モデルベースのフィッティングによる詳細なXRR解析

DIFFRAC.XRRは、サンプルモデルの作成からレポート出力にいたる、すべての解析プロセスにおいて効率よく進められるよう設計されています。

  • 数式ベースのパラメーターやフリーフィッティングの変数など、柔軟なサンプルモデリングが可能
  • 包括的かつ拡張性の高い材料データベースとサンプルデータベース
  • マクロ記録機能とステップバイステップ実行を備えた革新的な自動化ワークフロー機能
  • 一連の反射率測定結果を自動解析して表示
  • カスタマイズされた等高線プロットと統計解析を含む、ウェハーマッピングデータの評価
  • テンプレートを採用した多機能かつ詳細なレポーティング機能

特長

FFT機能が導くクイックXRR解析

すばやく膜厚情報を得たい場合は、DIFFRAC.XRRが新しい基準を定義します: マウスクリックのみで、高速フーリエ変換 (FFT) を用いた評価ツールが膜厚を瞬時に解析し、ピクチャインピクチャでグラフに追記します。

フルモデルフィッティング: 詳細XRR解析

詳細な解析のためには、DIFFRAC.XRRは動力学的X線散乱理論を適用した正確なシミュレーションにより、最小二乗法によるフィッティングでサンプルモデルのパラメーター (膜厚、表面・界面ラフネス、密度) を精密化します。装置定数、バックグラウンド、サンプルサイズの影響などの測定時条件を考慮して、解析値を正確に導出します。

高速で安定したフィッティングアルゴリズムにより、最適な収束を実現し、信頼性の高い結果を提供します。

包括的な材料データベース

DIFFRAC.XRRは、アモルファス材料、結晶材料、4元系までの混晶材料に至る包括的で拡張性のすぐれた材料データベースを備えています。

このデータベースには、吸収係数、X線侵入深さ、屈折率、偏光因子などのX線的特性だけでなく、構造因子やhklパターンの計算も含まれています。

新しい材料データベースを作成するために、CIFファイルやブルカー独自のSTRファイルを直接読み込むことができます。

柔軟なサンプルモデル作成

シンプルな単層構造から超格子構造や種々の勾配を含む非常に複雑なサンプルまで、DIFFRAC.XRRはあらゆるサンプル構造を仮定できます。各種界面ラフネスモデルの採用により、さまざまな成長モデルをより正確に記述することができます。パラメーターのリンク機能により、サンプルモデルに拘束条件を与えることができます。一般化された相関式の他、自由に追加できる相関式を利用することで、サンプルモデリングの柔軟性に新たな基準を設定します。

高速かつ高効率解析を実現するサンプルデータベース

DIFFRAC.XRRには、すぐれたサンプルデータベースが搭載されています。

複雑なサンプル構造を作成して保存し、現在の分析プロジェクトに直接適用することができます。これにより、日々のルーチンワークの作業効率が大幅に向上します。

また、サンプルデータベースを測定ソフトウェアDIFFRAC.SUITEと共有することで、より効率的なスキャン条件の作成ができ、DIFFRAC.SUITEソフトウェアプラットフォームのPLAN.MEASURE.ANALYZEの理念を力強く後押しします。

詳細レポーティング機能

DIFFRAC.XRRにはそのままで学術論文に投稿できる作図機能や完全な分析レポートを作成するためのすぐれたレポーティング機能が含まれています。

レポートフォーマットを編集し、テンプレートとして保存することができます。レポートは直接印刷の他、PDFファイルとして出力したり、.docx文書で追加の編集を加えたりしたりすることができます。

自動化

日常的なX線反射率分析がこれまで以上に簡単になりました。DIFFRAC.XRRは、作業内容をマクロとして記録し、1回の実行またはステップバイステップモードで実行することができます。

Workflow Designerは、直感的なインターフェースを備えており、測定データのインポートから結果の報告まで、分析をガイドしたり、完全に自動化して実行するワークフローを作成することができます。

解析結果の解析・視覚化

さまざまな雰囲気制御下でXRR測定を行ったケースをイメージしてください。

DIFFRAC.XRRでは、そのような一連のデータを簡単かつ迅速に解析することができます。サンプルモデルの各リファインされたパラメータは、雰囲気制御パラメーターの関数として独立に表示することができます。統計的な解析を行うことで、サンプルの特性や挙動を最大限に把握することができます。

ウェハーマッピング解析機能

ウェハーやエリアマッピングでは、サンプル面内の均質性を評価することができます。

DIFFRAC.XRRはウェハーマッピング解析機能を備えています。精密化された各サンプルパラメーターは、2次元マップ表示され、パラメーターの詳細リストの他、ヒストグラム解析結果を得ることができます。縦・横・斜めの任意断面におけるパラメーターの変化を視覚化し、局所的なサンプルの特性を詳細に見ることができます。

DIFFRAC.XRR ソフトウェア技術仕様

バージョン

現在のバージョン: DIFFRAC.XRR V2.0

対応解析機能

FFT解析: 高速膜厚評価

帰納的行列形式化による動力学的X線散乱理論

有効密度モデル (EDM): 極薄膜シミュレーション

Eigenwaves法 (MEW): 超格子構造の高速シミュレーション

対応OS

Windows 8、8.1、Windows 10

64ビット版

仕様

ニュース&イベント

DIFFRAC.XRR リソース

サポート

DIFFRAC.XRRを最新版にアップデート

無償メンテナンスアップデート

無償のDIFFRAC.XRRメンテナンスアップデートは、お使いのXRRのバージョンを最新版に更新します。お客様のXRRライセンスレベルに関係なく、最新のメンテナンスアップデートを www.brukersupport.com から無償でダウンロードすることができます。

ダウンロード手順

  • Bruker Customer Supportに登録します
  • "Software"ボタンをクリックします
  • 検索窓でDIFFRAC.DQUANT を検索します
  • 実行ファイルをダウンロードしてアップデートします

バグ修正

DIFFRAC.XRRを最新版にアップデートすることで、ライセンスレベルに関係なく、現在のバージョンだけでなく、以前にリリースされたバージョンのすべてのバグ修正が適用されます。DIFFRAC.XRRメンテナンスアップデートは累積的なものですので、すべてのバージョンにも適用することができます。

アップデートとアップグレード

DIFFRAC.XRRメンテナンスアップデートには新機能は含まれていません。新しいバージョンに導入された新機能を利用したい場合は、最新のDIFFRAC.XRRへの有償アップグレードが必要です。