DIFFRAC.XRRソフトウェア

DIFFRAC.XRRはユーザーの要望に応える2つの解析アプローチを搭載:

• 高速フーリエ変換(FFT)法により、X線反射率(XRR)曲線からマウス操作だけで素早く膜厚を推定
• 動力学的散乱理論に基づくサンプル・モデルベースのフィッティングによる詳細なXRR解析

DIFFRAC.XRRは、サンプルモデルの作成からレポート出力にいたる、すべての解析プロセスにおいて効率よく進められるよう設計されています。

• 数式ベースのパラメーターやフリーフィッティングの変数など、柔軟なサンプルモデリングが可能
• 包括的かつ拡張性の高い材料データベースとサンプルデータベース
• マクロ記録機能とステップバイステップ実行を備えた革新的な自動化ワークフロー機能
• 一連の反射率測定結果を自動解析して表示
• カスタマイズされた等高線プロットと統計解析を含む、ウェハーマッピングデータの評価
• テンプレートを採用した多機能かつ詳細なレポーティング機能

すばやく膜厚情報を得たい場合は、DIFFRAC.XRRが新しい基準を定義します: マウスクリックのみで、高速フーリエ変換 (FFT) を用いた評価ツールが膜厚を瞬時に解析し、ピクチャインピクチャでグラフに追記します。

DIFFRAC.XRRは、アモルファス材料、結晶材料、4元系までの混晶材料に至る包括的で拡張性のすぐれた材料データベースを備えています。

このデータベースには、吸収係数、X線侵入深さ、屈折率、偏光因子などのX線的特性だけでなく、構造因子やhklパターンの計算も含まれています。

新しい材料データベースを作成するために、CIFファイルやブルカー独自のSTRファイルを直接読み込むことができます。

DIFFRAC.XRRには、すぐれたサンプルデータベースが搭載されています。

複雑なサンプル構造を作成して保存し、現在の分析プロジェクトに直接適用することができます。これにより、日々のルーチンワークの作業効率が大幅に向上します。

また、サンプルデータベースを測定ソフトウェアDIFFRAC.SUITEと共有することで、より効率的なスキャン条件の作成ができ、DIFFRAC.SUITEソフトウェアプラットフォームのPLAN.MEASURE.ANALYZEの理念を力強く後押しします。

日常的なX線反射率分析がこれまで以上に簡単になりました。DIFFRAC.XRRは、作業内容をマクロとして記録し、1回の実行またはステップバイステップモードで実行することができます。

Workflow Designerは、直感的なインターフェースを備えており、測定データのインポートから結果の報告まで、分析をガイドしたり、完全に自動化して実行するワークフローを作成することができます。

ウェハーやエリアマッピングでは、サンプル面内の均質性を評価することができます。

DIFFRAC.XRRはウェハーマッピング解析機能を備えています。精密化された各サンプルパラメーターは、2次元マップ表示され、パラメーターの詳細リストの他、ヒストグラム解析結果を得ることができます。縦・横・斜めの任意断面におけるパラメーターの変化を視覚化し、局所的なサンプルの特性を詳細に見ることができます。