ARGUSイメージング システムを搭載したSEMによるSTEM

すべてを見ることができる神話の巨人ARGUS

その前身と同様に 、OPTIMUS 2 検出器ヘッドはSEMイメージング機能でSTEMを提供するために、組み込みの ARGUSTMシステムを使用して設計されています。OPTIMUS 2 は、フロントエッジに3つの Siダイオード、画面中央に1つの Siダイオードを搭載しており、次の機能を備えています。

  • 暗視野(DF)のようなイメージング
  • TKDマッピング位置での明視野(BF)のようなイメージング
  • 最大125,000ピクセル/秒の速度でのイメージング
  • 比類のない品質で詳細な画像を作成する完全自動信号最適化

新しいBFのようなイメージング機能は、電子透過サンプルのin-situ試験、加熱、電気バイアスなどの動的実験中のほぼリアルタイムの可視化やマッピング中のドリフト補正やに特に効果があります。

2.8Mピクセル DFのような画像(左)と非晶質アモルファスSi₃N₄膜上に堆積された20nmの金膜上の強調表示された領域の拡大図。サブ10nmの焼鈍し双晶を示しています。画像は、800pAのプローブ電流と30kVの加速電圧を用いて66秒で取得しました。メイン画像とズームビュー画像のスケールバーは、400 nm と50 nm を表します。