原子間力顕微鏡

Dimension Edge PSS

LEDに対応する分解能を備えた3D計測 ー LED基板およびエピタキシャルメーカーに理想的な測定・検査システム
Dimension Edge PSS Atomic Force Microscope

ハイライト

Dimension Edge PSS

ブルカーのDimension Edge™ PSS AFMとAutoMET™計測分析ソフトウェアは、LEDサブストレートとエピタキシャルのメーカー向けの理想的なナノ計測/ナノ検査システムです。Dimension Edge AFMプラットフォームを拡張したEdge PSSは、Dimension AFMシステムのよく知られている驚くべき価値と分解能を備えており、同時に基板測定専用のソリューションを提供します。

ナノメートル
高分解能
PSS基板のすべての重要なパラメータを解析します。
< 0.2 nm
ノイズフロア
ベア基板とエピ粗さの測定を提供します。
操作性
生産現場のためのソフトウェアを搭載
製造現場にて高いコストパフォーマンス備えた産業用AFMより、皆様に最高のユーザーエクスペリエンスを提供します。

特長

機能

PSS分析のための最高の解像度

パターニングされたサファイア基板(PSS)のピッチが2ミクロン以下になると、従来のコンフォーカル技術では貴重なプロセス計測に必要な解像度が失われてしまいます。Dimension Edge PSS原子間力顕微鏡(AFM)は、サブナノメートルの分解能と最大9枚の2インチウェーハ(または1枚の4インチまたは6インチウェーハ)を一度に測定できるため、PSS製造プロセスを管理するために必要なすべてのデータを提供することができます。

Dimension Edge PSSに内蔵された特定のPSS測定機能に加えて、このシステムには、エピタキシャル粗さ測定のための高分解能と低ノイズ、TappingMode、Contact Mode、PhaseImaging™、LiftMode™などの標準的で独自のAFMモードなど、Dimensionマイクロスコープで有名になった世界をリードするBruker AFM技術のすべてが組み込まれています。

 

フラットトップパターンサファイア基板の3D AFM画像。

高度なPSS計測機能

次元の端のPSSシステムはPSS構造のenhnaced分析を可能にする。
Dimension Edge PSS AFM は、PSS 基板のすべての重要なパラメータを分析するためのナノメートル解像度を提供すると同時に、この情報をウエハー全体およびウエハからウエハーまで自動的に収集します。Bruker専用のPSS分析パッケージは、次のデータを同時に提供できます。
  • 高さ、幅、ピッチ
  • 側面壁の角度と機能プロファイル
  • 非対称性の識別と測定
  • 汚染識別
  • ターン識別と回転角度
  • フラットトップ識別

業界をリードするAutoMETソフトウェア

Edge PSSには、LED製造の要件を満たすために特別に設計されたAutoMETソフトウェアが組み込まれています。このソフトウェアには、2つの異なる操作モードがあります。

  • オペレーターレベル - プッシュボタンを備えたシンプルなユーザーインターフェースは、チップの変更、位置合わせ、調整、定性検査のステップを通じてユーザーをガイドします。単一のボタン操作は、簡単なPASS/FAIL出力で9枚のウェーハまで自動的に実行されます。
  • エンジニアレベル - パスワードで保護されたユーザーインターフェースにより、エンジニアはすべての重要なAFMパラメータにアクセスすることができます。プロセスエンジニアは、このモードで必要なすべての合否判定基準を簡単に設定できます。
Dimension Edge PSSは、簡単なレーザーアライメントと自動レポート生成により、オペレータの操作性を向上させ、バリュープライスのAFMではこれまでにない最高のユーザ体験を提供します。

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