ワイコ・ヴィーコの歴史
ワイコ株式会社
Brukerの3D光学顕微鏡の専門知識は、80年代にワイコ株式会社が開発した非接触表面光学プロファイリング技術にルーツを持っています。Wykoは1982年にアリゾナ大学光学科学センターの3人のメンバーによって設立されました。半導体およびデータストレージ産業向けに設計された初期システムにより、Wyko干渉計は、企業が積極的な技術ロードマップに追いつくことを可能にする計測ソリューションのリーディングプロバイダーとなりました。Wykoの機器は、製造サイクル全体を通して正確で一貫した定量データを生成することで、製品の歩留まりと製品品質を向上させるために使用されました。コンピュータのハードドライブの製造プロセスでは、ワイコシステムは、磁気ヘッドの形状と高さ、サスペンションアームの高さと角度、ディスクテクスチャと平坦性の正確な測定を可能にしました。半導体メーカーは、フリップチップとウエハー粗さを測定するためにWyko装置を使用しました。
ワイコの多くの特許は学術研究、産業研究開発、光学、通信において成功した市場を開いた。彼らの最も売れているプロダクトはラディテレーザーダイオードの波手の前部テスター、IR3赤外線干渉計、TOPO-3D光学表面のプロファイナー、シリス干渉計およびWyko 6000フィゾウ干渉計を含んでいる。
ヴィーコメトロロジーグループ
Wykoの成功は、1997年にVeeco Instruments Inc.(上場企業)によって買収され、新しい非接触式光学測定製品と既存の原子間力顕微鏡、デクタック表面プロファイラー、レーザー散乱計を組み合わせてVeeco Metrologyグループを形成しました。この部門は、薄膜磁気ヘッドや先進半導体デバイスなどの高成長マイクロエレクトロニクス市場向けの表面計測機器を供給し、幅広い産業用途に対応しています。また、精密イオンビームシステムと物理蒸着システムにおける世界的リーダーとしてのVeeco Instruments Inc.の地位を支えました。
Veecoの下では、表面プロファイリング技術は引き続き優れており、特許および運用ソフトウェアの表面計測業界をリードしていました。Veecoメトロロジーグループは、トップエンドの自動システムの作成に特化したほか、最新の白色光干渉測定(WLI)機能をテーブルトップ計測器にもたらしました。彼らは、精密表面、先端材料および光学、バイオマテリアル、MEMSおよび半導体パッケージの3D表面高さ測定を迅速かつ正確に行うための、最も売れているNTシリーズの光学プロファイラを開発しました。また、半導体メーカー向けに完全に自動化された非接触表面計測システムのSPシリーズと、データストレージメーカー向けのHDシリーズの干渉計も開発しました。
ブルーカーナノサーフェス
2010年、VeecoはLED、太陽光、データストレージ、ワイヤレス市場だけに注力することを決定し、メトロロジー事業をブルカー株式会社に売却しました。50年以上にわたり、Brukerの高性能科学研究機器と価値の高い分析ソリューションにより、科学者は分子、細胞、顕微鏡レベルで生命と材料を探求することができました。
現在、Brukerは、分子および材料研究、診断、産業、臨床、応用分析のための高性能科学機器および高度なソリューションのリーディングプロバイダーであり続けています。自動車/航空宇宙、高輝度LED、太陽光、半導体、医療機器市場における高度なQA/QCおよびR&D精密機械加工および製造用途向けの特殊な機器により、Brukerはアプリケーションと予算に適合する3D光学顕微鏡ソリューションを提供しています。
3D光計測ソリューション:
- 3D表面測定(R&Dおよび生産のためのテーブルトップおよび自動化された床立ちモデル):ContourX-100、ContourX-200、ContourX-500、コンターGT-X、コンターエリートX
- 大規模および産業用計測( 産業用測定用の大型サンプル自動システム):NPFLEX
- 半導体計測 (PCB生産制御のための包括的測定):ContourSP
- データストレージ計測( データストレージのプロセス制御監視):HD9800+
