FilmTek 2000 SE
マルチアングル反射率測定およびエリプソメトリーシステムが、パターン化されていないウエハ上の薄膜および多層フィルムの高感度で正確な計測を実現します。
FilmTek 2000 SE
FilmTek™ 2000 SEは300mmウエハに対応する自動ステージを備えた卓上型分光エリプソメーターで、薄膜の均一性評価が可能です。先進的な回転補償子設計を採用した2000 SEは、薄膜アプリケーションにおいて比類のない測定性能と速度を実現します。当社のフィルムモデリングソフトウェアと独自の分散式により、データの処理が容易になり、正確で精密なリアルタイムの結果が得られます。
性能向上
感度とサンプル範囲
より正確で再現性の高い屈折率測定が可能に
拡張
深紫外-近赤外スペクトル領域
より困難なフィルム素材や構造からの反射データの収集が可能に
多面的評価
エリプソメトリー/反射率測定設計
特に屈折率測定において、単独の技術よりも高い精度と再現性でより多くの情報を提供します
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測定機能
以下の項目を同時に測定可能：
- 多層膜の厚さ
- 屈折率 [ n(λ) ]
- 消衰（吸収）係数 [ k(λ) ]
- エネルギーバンドギャップ [ Eg ]
- 組成（例：SiGexにおける%Ge、GaxIn1-xAsにおける%Ga、AlxGa1-xAsにおける%Alなど）
- 表面粗さ
- 構成成分、ボイド率
- 結晶化度/アモルファス化度（例えばPoly-SiやGeSbTe膜の結晶化度）
- 膜厚分布
システム構成
標準:
- 回転補償子設計による分光エリプソメトリー（300 nm - 1700 nm）
- マルチアングル、偏光分光反射（240nm～1700nm）
- 膜厚と屈折率を個別に測定
- オートフォーカス機能付き自動ステージ
- 極薄膜の測定に最適（自然酸化膜で0.03Åの再現性）
- 先進的な材料モデリングソフトウェア
- 高度で広範囲の最適化アルゴリズムを備えたブルカーの広範な材料モデル
オプション:
- 異方性測定一般化エリプソメトリー（4×4行列一般化法）（nx、ny、nz）
活用分野
1Å未満から約150µmまでの厚さの半透明フィルムをほぼすべて、高精度で測定できます。
特に学術研究や研究開発の環境では、お客様の独自のニーズを満たすために、柔軟にハードウェアとソフトウェアを変更することができます。
代表的な応用分野には以下が含まれます。
- 半導体および誘電体材料
- LED/OLED
- 多層光学コーティング
- 光学反射防止コーティング
- 電子光学材料
- コンピュータディスク
- コーティングガラス
- 金属薄膜
- 太陽電池
技術仕様
| 膜厚範囲 | 0Å～150µm |
|---|---|
| 膜厚精度 | ±1.0Å（NISTトレーサブル標準酸化膜 100 Å から 1 µm) |
| スペクトル範囲 | 240nm～1700nm（標準240nm～1000nm） |
| 測定スポットサイズ | 3 mm |
| サンプルサイズ | 2 mm - 300 mm（標準150 mm） |
| スペクトル分解能 | 0.3 nm - 2nm |
| 光源 | 重水素ハロゲンランプ（寿命2,000時間） |
| 検出器タイプ | 2048ピクセルソニーリニアCCDアレイ/512ピクセル冷却浜松ホトニクスInGaAs CCDアレイ（NIR） |
| オートフォーカス機能付き自動ステージ | 300 mm（標準200 mm標準） |
| コンピュータ | Windows™ 11 オペレーティングシステム搭載のマルチコアプロセッサ |
| 測定時間 | 1箇所あたり約2秒（例：酸化膜） |
性能仕様
| 膜種 | 膜厚 | 測定パラメータ | 精度（1σ） |
|---|---|---|---|
| Oxide / Si | 0 - 1000 Å | t | 0.03 Å |
| 1000 - 500,000 Å | t | 0.005% | |
| 1000 Å | t , n | 0.2 Å / 0.0001 | |
| 15,000 Å | t , n | 0.5 Å / 0.0001 | |
| 150.000 Å | t , n | 1.5 Å / 0.00001 | |
| Nitride / Si | 200 - 10,000 Å | t | 0.02% |
| 500 - 10,000 Å | t , n | 0.05% / 0.0005 | |
| Photoresist / Si | 200 - 10,000 Å | t | 0.02% |
| 500 - 10,000 Å | t , n | 0.05% / 0.0002 | |
| Polysilicon / Oxide / Si | 200 - 10,000 Å | t Poly , t Oxide | 0.2 Å / 0.1 Å |
| 500 - 10,000 Å | t Poly , t Oxide | 0.2 Å / 0.0005 |
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ブルカーはお客様と協力し、実世界のアプリケーション課題を解決します。次世代技術を開発し、お客様が適切なシステムとアクセサリーを選択できるようサポートします。このパートナーシップは、機器販売後もトレーニングや延長サービスを通じて継続します。
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