エリプソメトリー・反射率測定システム

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エリプソメトリーおよび反射率測定のアプリケーションノート、技術ノートおよびケーススタディ

Featured Application Notes

AN700-app-note-frame

AN700 医療機器およびセンサー用バイオアクティブフィルムの厚さ測定

高度なエリプソメトリーおよび反射率測定による薄膜厚さ測定が、医療機器の品質と性能の確保にどのように貢献するかをご覧ください。

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combined-reflectometry-ellipsometry-technique-to-measure-graphite-down-to-monolayer-thickness-teaser

Combined Reflectometry-Ellipsometry Technique to Measure Graphite Down to Monolayer Thickness

様々な基板上のグラフェンの光学特性を評価する、反射率測定とエリプソメトリー技術をベースとした迅速・高感度・非破壊的な手法についてご紹介します。

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Application Briefs

Featured Products and Technology

OVERVIEW-filmtek

マルチアングル反射率測定／エリプソメトリーシステム

Industry-leading measurement performance for challenging ultra-thin to thin films and multilayers with 100x performance advantage over other non-contact methods

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OVERVIEW-filmtek

分光反射率測定

Expedited film thickness and optical constant measurements well suited for in-situ production quality assessment, particularly on thick films in development and production environments and semiconductor wafers

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OVERVIEW-filmtek

分光エリプソメトリー

薄膜の厚さおよび屈折率測定において、最も正確で再現性の高い測定手法について詳しくご覧ください。

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OVERVIEW-filmtek

Ellipsometry and Reflectometry Systems

Specialized thin film metrology systems for wafer and CD metrology, designed to meet requirements not measurable with conventional equipment

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