マルチアングル反射率測定
最も複雑な測定要件に対応するための最先端のソリューション
最も厳しいフィルム測定要件に対応
当社のマルチアングル反射率測定技術は、標準的な分光エリプソメトリーや反射率測定技術に比べ、薄膜の屈折率に対してはるかに高い感度を備えています。マルチアングル反射率測定と分光エリプソメトリーを組み合わせることで、薄膜の厚さと光学定数（特に屈折率）を高速かつ同時に自動測定でき、単独技術では実現できない性能と、より難易度の高い試料への適用を可能にします。この技術は、超薄膜、多層膜構造、複雑なデバイス構造や集積回路製造に使用される材料など、極めて高い屈折率分解能が求められる材料の評価に非常に有用です。
その名称が示す通り、マルチアングル反射計法は単一角度反射計法の限界（ノイズ、非干渉性など）を克服するため、複数の角度からの反射データを同時に収集します。これにより、FilmTekのマルチアングル反射測定システムは、同等の非接触法と比較して100倍、最高のプリズムカプラ接触式システムと比較して10倍の屈折率分解能を実現し、業界最高クラスの屈折率分解能を提供します。
FilmTekが独自開発したマルチアングル反射率測定／エリプソメトリーシステムは、業界最高水準の膜厚・屈折率測定精度と再現性を実現しており、両技術の強みを統合することで、超薄膜から厚膜までの屈折率と膜厚を高精度に評価し、多層膜構造全体を明確に特性化することを可能にします。こうしたFilmTekシステムは、光電子デバイス、位相感応デバイス、相変化材料、特殊デバイス、シリコンフォトニクスの開発・製造に加え、フロントエンドのシリコン製造およびサーバー製造など、多くの最先端アプリケーションにおいて最適なソリューションとして採用されています。
