コンダクティブAFM(C-AFM)

高分解能の電流および形状マッピング

導電性マッピングは、電気的な欠陥、導電性ポリマー、半導体、ナノチューブ、一部の有機材料など、幅広い研究およびプロセスで用いられています。

コンダクティブAFM (C-AFM) と関連するモードのトンネリングAFM(TUNA)およびPeakForce TUNA™は、ブルカーの製品群を代表するナノ電気特性測定用の装置です。

C-AFMは コンタクトモード から派生した二次的なイメージングモードで、導電性が中等度から低度の材料や半導体材料を測定するものです。2pA~1µAレンジの電流測定とマッピング、同時に形状情報を取得します。

Conductive AFM 1
コンタクトモードAFMと導電性プローブを用いたTUNAおよびコンダクティブAFMモード。DCバイアスを印加した際のチップとサンプルのあいだの電流がセンサー信号となる。フィードバックモードを使うと、セットポイントとして設定された電流値を維持するように調整されたDCバイアスがアウトプット信号となる。電流範囲はfA (TUNA) からµA (CAFM) まで。アプリケーションとしては、半導体やデータストレージデバイスの薄膜、導電性ポリマー等の絶縁破壊および膜厚均一性の研究などに用いられる。