電気力顕微鏡(EFM)

タッピングモードによる形状像と電場の検出

消費者向けエレクトロニクス製品が小型化し、より洗練されたものになるのに伴い、演算能力と記憶容量も増大しています。エレクトロニクスの開発では、電気材料およびアセンブリの複合材料のミクロン以下の電気特性分布の測定がしばしば求められます。 電気力顕微鏡 (EFM) は、サンプル表面の電気力勾配分布を測定します。 磁気力顕微鏡 (MFM) と同様、EFMもリフトモードを用います。リフトモードは、サンプル表面の タッピングモード™ によるスキャンラインと、表面から任意の高さにリフトした非接触のスキャンラインを交互に測定する2パステクニックです。

EFMは、電気的欠陥分析、トラップ電荷の検出、電気分極マッピング、電気的リード/ライトなどのアプリケーションに用いられています。ブルカーの豊富なナノ電気特性を測定する手法のひとつとなっています。

EFMモードを搭載するブルカーのAFMシステム:

推奨されるAFMプローブ:

詳細:

詳細については、ブルカーにお問い合わせください。

Electric force microscopy 1
DVD-RWのアモルファスビットのトポグラフィーイメージ (左) とEFMイメージ( 右) (スキャンサイズ5μm)。EFMイメージは、結晶領域中で相変化することにより形成されたアモルファスビットを明瞭に示している。