トンネリングAFM (TUNA)

導電性の低いサンプルの超低電流測定

コンダクティブAFM (C-AFM) と同じく、トンネリングAFM (TUNA) も、半導体やデータストレージのデバイスの電気的欠陥部位の特定や、導電性ポリマーや有機物などの材料の研究に用いられます。

TUNAの動作はC-AFMと同様ですが、電流感度はより高くなります。TUNAでは、薄膜 (の厚み)をトンネリングする超低電流 (<1pA) を検出することができます。導電性の低いサンプルの電気特性測定において、横方向の高分解能が求められる場合には、特に重要となる機能です。

PeakForce TUNA™ モジュールは、ブルカーのTUNAモジュールの超低電流検出機能と、 PeakForce QNM™の定量的ナノメカニカルマッピング機能を組み合わせたものです。

TUNAモードを搭載するブルカーのAFMシステム:

推奨されるAFMプローブ:

詳細

詳細については、ブルカーにお問い合わせ ください。

Tunneling AFM 1
Topography (left) and tunneling (right) images of an 8.5nm-thick SiO2 sample (2μm scan size, 200fA current scale).