コンパクトプラットフォーム ナノ力学特性評価装置

ハイジトロン TI Premier

コンパクトプラットフォームでナノスケールの力学特性評価のエッセンスを詰め込んだナノ力学特性評価専用装置
定量的なナノ力学特性評価を

ハイジトロン TI Premier ナノインテンター

ブルカーのハイジトロンTIプリミアは、コンパクトなプラットフォームでありながら、業界最高レベルの定量性でナノ力学特性評価が可能な装置です。ブルカーおよびハイジトロンが長年蓄積した技術を基盤とし、ナノ領域での力学特性、トライボロジー測定においてお客様が必要とされるツールをご提供します。TIプリミアは多目的に使用できるよう基本設計がなされていますので、お客様が研究や検査を行う上で必要となる一般的な評価については、幅広く対応可能です。また、多様なアップグレードオプションを追加することにより、将来的なニーズにも対応できます。

パワフル
特性評価パッケージ
準静的ナノインデンテーション、動的特性評価、高温特性評価、および複数の長さスケールでの評価試験のためのカスタマイズされたソリューションを提供します。
実績
ハイジトロン技術
ナノスケールで正確で信頼性の高い定量的な機械的および三量的特性測定を保証します。 ナノスケールでの正確で信頼性の高い定量的な機械的およびトライボロジー特性の測定を保証します。
柔軟性
システム構成
今のニーズにも、未来の特性評価のニーズにも対応できるよう、ハイブリッドや相関特性評価技術を幅広くサポートしています。

TI プレミア ベース設定

  1. SPM画像処理を用いた静電容量型容量性トランスデューサ
  2. 自動ステージング
  3. 安定性を保証する御影石フレーム
  4. アクティブ除振システム
  5. 高分解能オプティカルイメージング
  6. 多彩なサンプルステージ
  7. 外部環境から安定した測定環境を提供する筐体
  8. 高度な制御技術

優れた制御と感度

Hysitron TI Premierナノメカニカル試験システムの業界トップのノイズフロア性能とデータ再現性を示す(100)シリコン上の5つの低力インデントのシリーズ。

独自の静電容量変換器技術は、ナノインデントプロセス中の優れた測定ノイズフロア(75 nN、<0.2 nm)、精度、信頼性を提供します。静電動作は電流をほとんど使用しませんので、優れたドリフト特性が実現し、データ取得が高速化され、精度が向上し、再現性が向上します。

定量的特性評価機能

弾性プラスチック材料の典型的な応答を示す融合石英上の力対変位曲線と、残存インデント印象を示す準静的ナノインデンテーション後の石英表面のインシトゥSPM画像を生じる。

Brukerは、強力なナノスケールの材料研究を可能にするために、幅広い補完的特徴付け技術を開発しました。

動的機械的解析: 測定深度、周波数、時間の関数としての貯蔵弾性率、損失係数、およびタンデルタ。

トライボロジー: 摩擦係数、耐傷性、薄膜接着、ナノスケールの摩耗。

表面特性: インシチュスキャンプローブ顕微鏡、光学顕微鏡、表面機械特性マッピング。

電気特性: その場での電気接触抵抗、導電率、相変換、材料変形挙動。

環境管理: 高温でカスタマイズ可能な気体雰囲気でのナノメカニカルおよびナノトリボロジー特性

アプリケーション固有の特性評価パッケージ

NiCoCrAlY の荷重と変位曲線の 350°C (赤)、500°C (緑)、および 600°C (紫) です。これらの曲線の低散乱および規則的な形状は、高温でのヒシトロンTIプレミアナノインダーの高い安定性を示す。

BrukerのHysitron TI Premierは、準静的なナノインデント、動的特性評価、高温特性評価、複数の長さのスケールでのテストに合わせたアプリケーション固有の特性評価パッケージを提供します。これらのパッケージ化された構成は、お客様の研究およびプロセス制御の要件を満たす専用のソリューションを提供するように最適化されています。

準静的なナノインデントパッケージ:ナノメカニカル特性は薄膜や不均一な材料に最適化されています。

動的特性評価パッケージ:超ソフトから超硬材まで幅広い素材に対する、準静的で動的な機械的特性。

高温特性評価パッケージ:温度の関数として、機械的特性と時間依存の変形動作を調査します。

複数の長さのスケール パッケージ:ナノメートルとマイクロメートルの長さのスケール上の深さを感知する。

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