X선 회절분석기(XRD)

D8 DISCOVER PLUS

가장 강력하고 정확한 XRD 솔루션은 산업 및 학계에서 연구, 개발 및 품질 관리의 요구 사항을 완벽하게 실행합니다.

기대이상의 XRD

HerostageD8DISCOVER

하이라이트

< 0.007° 2Ɵ
피크 위치의 정확도
D8 DISCOVER Plus는 NIST 표준 기준 재료 SRM 1976을 기반으로 전체 각도 범위에 걸쳐 고유한 얼라이먼트 보증이 함께 제공됩니다.
160° 2ƟeNC
최고의 비행기 내 회절
Bruker의 Non-Coplanar Arm을 사용하면 탁월한 각도 범위와 정확도로 평면 회절 측정이 가능합니다.
6kW/mm²
XRD에서 최고 밝기 X선 소스
TXS-HE는 6kW/mm²의 X선 포커스를 제공하여 라인과 스팟- 포커스 애플리케이션 모두를 위한 최고의 선택입니다.
브루커만 위치, 응답 및 해상도에 대한 표준 얼라이먼트보증을 제공합니다.
브루커의 고유한 얼라이먼트 보증

D8 DISCOVER Plus - 비디오 보기

다용성 - X선 회절 - 성능

D8 DISCOVER Plus는 X선 회절계와 이 분야에서 가장 강력하고 다재다능한 기기입니다.
코어는 고효율 터보 X선 소스(TXS-HE)와 시장을 선도하는 Non-Coplanar Arm을 호스팅하는 고정밀 ATLAS 고니오미터입니다.
분말, 무정형 및 다결정 재료에서 상온 및 비 상온 조건에서 에피텍셜 다층 박막에 이르기까지 다양한 재료의 구조적 특성화를 위해 설계되었습니다.

응용 프로그램:

  • 상 식별 및 정량화, 구조 결정 및 정제, 미세 변형 및 결정 크기 분석
  • X선 반사율, Grazing Incidence Diffraction (GID), In-Plane 회절, 고해상도 XRD, GISAXS, GI Stress 분석, 결정 방향 분석
  • 잔류 응력 분석, 텍스처 및 극점 수치, 마이크로 X선 회절, 광각 X선 산란(WAXS)
  • 총 산란 분석: 브래그 회절, 쌍 분배 기능(PDF), X선 소각 산란(SAXS)

특징

주요 기능

D8 DISCOVER PLUS 기능

Non-Coplanar Arm

D8 DISCOVER Plus에는 Non-Coplanar Arm이 장착되어 있어 탁월한 성능으로 내부 회절 측정을 수행할 수 있습니다.

  • 최대 160 °의 접근 가능한 2θ 범위는 d- 간격 측정에서 탁월한 정확도를 제공합니다.
  • 직접 각진 인코더와 탁월한 정확도.
  • 전용 빔 경로 구성 요소는 측정된 강도를 증가시켜 초박형 다결정 필름에서도 신호를 얻습니다.
  • 효율성 극대화를 위해 DIFFRAC.SUITE 소프트웨어 및 DIFFRAC.DAVINCI에 원활하게 통합됩니다.
D8 DISCOVER PLUS 기능

ATLAS™ Goniometer

X 선 회절에서 정확한 샘플 분석의 기본은 측 각계와 특히 측정 중에 장착된 구성 요소의 정확한 방향입니다. ATLAS 고니오미터는 설계상 이러한 요구 사항을 정확히 충족하고 각도 및 공간 정확도에 대한 기준을 설정합니다.

  • 견고하고 유지 보수가 없는 고니오미터
  • 고해상도 광학 인코더가 있는 고정밀 스테퍼 모터
  • 장착 구성 요소에 대한 정밀하고 소프트웨어 모니터링 인터페이스

ATLAS goniometer가 장착된 D8 DISCOVER Plus에는 브루커 AXS 일반 얼라인먼트 보증이 함께 제공됩니다: 측정및 인증된 피크 포지션 ∆2Theta의 각 편차는 ≤0.007°입니다. 이는 각 개별 계측기와 함께 NIST 인증 표준 SRM1976을 측정하여 확인됩니다.

D8 DISCOVER PLUS 기능

TXS-HE X선 소스

분석용 X 선 도구의 주요 측정이 신호 대 잡음 또는 신호 대 배경으로 정의된 데이터 품질이든, 샘플 처리량이든 상관없이 한 가지 상수는 더 많은 신호가 항상 이점이라는 것입니다.

고효율 터보 X선 소스(TXS-HE)는 회전 양극 기술과 관련된 유지 보수를 최소화하면서 신호를 증폭하도록 설계되었습니다.

  • 산업용 밀봉 튜브 강도의 최대 5배
  • 6kW/mm2의 탁월한 초점 스팟 밝기로 라인 포커스 설정
  • 최대 강도를 위해 옵틱장치와 이상적인 결합
  • 공기 산란을 최소화하기 위해 빔 경로 길이 감소

응용

X선 회절 프리미엄 교육

D8 DISCOVER PLUS 애플리케이션

박막 분석

Coplanar Diffraction Coplanar
실험에서 소스와 검출기는 샘플 표면에 대한 각도를 증가시켜 샘플 표면으로의 프로빙 방향을 만듭니다.

  • 표면에 민감한 결정상의 식별과 결정 크기 및 변형률을 포함한 구조적 특성의 결정을위한 Grazing Incidence Diffraction (GID).
  • 단순한 기판에서 매우 복잡한 초 격자 구조에 이르기까지 다층 샘플에서 두께, 재료 밀도 및 인터페이스 구조를 추출하기 위한 X선 반사 측정 (XRR).
  • 방목 발생  X 선 소각산란 (GISAXS)

Non-Coplanar Diffraction
비-공동 평면 실험에서, 샘플 표면에 대한 소스 및 검출기 각도가 고정되고, 검출기가 샘플 표면에 평행하게 움직이는 방향으로 이동하여 샘플 표면을 따라 프로빙 방향이 됩니다.

  • IPGID (In-Plane Grazing Incidence Diffraction)는 침투 깊이를 nm로 줄여 표면 분리를 허용하고 원자 두께가 있는 층에 대한 감도를 높입니다.
  • 다결정 IPGID를 사용하여 면내 결정 크기를 결정할 수 있습니다.
  • Epitaxial IPGID를 사용하면 평면 내 격자 매개 변수 및 평면 내 방향을 직접 결정할 수 있습니다.
D8 DISCOVER PLUS 애플리케이션

재료 연구

ATLAS 고니오미터는 분석의 각도 및 실제 공간 포지셔닝 정확도를 모두 높여 시료의 소형 영역에서 대규모 측정이 가능합니다. 대칭 발산 IµS를 MONTELPlus 및 다중 모드 EIGER2 R 검출기와 결합하여 새로운 등급의 회절계가 구현되어 빔라인에서 발견되는 것과 유사한 빔 품질 및 검출 기능을 제공합니다.

  • 결정단계의 표면에 민감한 식별을 위한 방목 발생 회절(GID)과 결정상의 식별, 결정화 크기 및 변형률과 같은 구조적 특성의 결정.
  • 단순한 기판에서 매우 복잡한 초 격자 구조에 이르기까지 다층 샘플에서 두께, 재료 밀도 및 인터페이스 구조를 추출하기 위한 X선 반사 측정 (XRR).
  • 에피택셜 성장 샘플 구조 분석을 위한 고해상도 X선 회절 (HRXRD) : 층 두께, 변형률, 이완, 모자이크 성, 혼합 결정의 조성 분석.
  • 응력 및 텍스처(선호 방향) 분석
  • 광각 X선 산란 (WAXS)
D8 DISCOVER PLUS 애플리케이션

분말 회절

분말 회절(XRPD)은 낮은 방향의 샘플에 대한 광범위한 응용을 다룹니다. D8 DISCOVER Plus는 ATLAS 고니오미터를 통해 XRPD를 새로운 차원의 정밀도로 제공합니다. D8 DISCOVER Plus의 XRPD 분석을 통해 업계를 선도하는 D8 고니오미터 이상의 정확도를 개선함으로써 연구원은 이전에 관찰되지 않은 사소한 구조 세부사항을 발견할 수 있습니다. D8 DISCOVER Plus에 TXS-HE를 장착하면 기존 튜브 시스템보다 5 배 이상 빠르게 XRPD 데이터를 수집할 수 있습니다.
강력한 DIFFRAC.SUITE 소프트웨어와 결합된 D8 DISCOVER Plus를 사용하면 다음과 같은 PXRD 애플리케이션을 간단하게 실행할 수 있습니다.

  • 상 식별
  • 상 정량화
  • 구조 솔루션
  • 쌍 분배 함수 분석(PDF)
  • X선 소각산란(SAXS)

사양

D8 DISCOVER PLUS 사양

  사양 혜택
TWIST-TUBE

포인트와 선 초점 간의 쉬운 전환

사용 가능한 양극: Cr, Cu, Mo, Ag

최대 출력 및 필라멘트: 양극 재료에 따라 최대 3kW(0,4 x 16mm²)

특허: EP 1 923 900 B1

다양한 애플리케이션에 완벽하게 일치하는 파장의 빠른 변경

더 넓은 범위의 애플리케이션을 위해 라인과 포인트 포커스 사이를 가장 빠르게 전환하고 짧은 시간에 더 나은 결과를 초래합니다.

Iμs 마이크로포커스 소스

전력 부하: 최대 50W, 단상 전력

MONTEL과 MONTEL Plus 옵틱은 평행과 초점 거울을 결합.

빔 크기는 180 x 180 μm²입니다.

미러 출구에서 최대 통합 플럭스 8 x 10⁸ cps.

0,5mrad까지 빔 발산

고휘도 및 초저 배경의 밀리미터 크기 빔

낮은 전력 소비, 물 소비 없음 및 수명 연장 구성요소를 갖춘 친환경 설계

최상의 결과를 위해 빔 모양과 발산 최적화

TXS-HE 엑스레이 소스

수직 ATLAS 고니오미터를 위한 작고 가벼운 디자인

라인 포커스, 0.3x3 mm²

6 kW / mm²의 초점 폭등

양극 재료 : Cu, Co, Cr, Mo

최대 전압 50 kV, 양극 재료에 따라 최대 출력: Cr 3.2 kW, Cu/Mo 5.4 kW, Co 2,8 kW

사전 정렬된 텅스텐 필라멘트

수평 샘플 장착을 허용하는 높은 플럭스 X 선 소스.

표준 세라믹 X선 소스에 비해 최대 5배 더 높은 강도.

라인 및 스팟 포커스 애플리케이션에 적합

사전 정렬된 필라멘트는 최소 한번의 재정렬 요구사항으로 빠른 필라멘트 교환을 허용합니다.

TRIO 옵틱

소프트웨어 푸시 버튼 스위치:

전동 발산 슬릿 (Bragg-Brentano)

고강도 Ka1,2 병렬 빔

고해상도 Ka1 병렬 빔

특허: US10429326, US665372, US7983389

수동 사용자 개입 없이 최대 6개의 서로 다른 빔 형상 간에 완전 자동 전동 전환

분말, 벌크 재료, 섬유, 시트 및 박막 (비정질, 다결정질 및 에피택셜)을 포함한 모든 시료 유형에 완벽하게 적합합니다.

고해상도 모노크로메이터

대칭 및 비대칭 형상의 Ge(220) 및 Ge(004) 반사

2 바운스 및 4 바운스(Bartels 유형) 단색

SNAP.LOCK 기술을 통한 정렬없는 마운팅

최상의 결과를 얻기 위해 최상의 해상도와 강도 균형에 대한 광범위한 선택.

다양한 샘플에 최적화하기 위한 모노크로메이터의 빠른 교환

ATLAS™ 고니오미터

TXS-HE X선 소스를 호스팅하도록 설계된 강제 메커니즘이 있는 수직 각도계

업계 최고의 각도 정확도 : NIST SRM 1976에서 결정된 전체 각도 범위에서 ± 0.007 ° 2θ 보장

옵틱, 포지셔닝 카메라, 샘플 스테이지, 비상온 및 검출기 기술을 포함한 D8 구성요소 제품군의 완벽한 통합

브루커의 고유 얼라인먼트 보증에 의해 명시된 탁월한 정확성과 정밀도

수명 윤활이 가능한 절대유지보수가 필요없는 구동 메커니즘/기어링

최고 정확도 데이터를 생성하기 위해 전체 범위의 애플리케이션을 지원합니다.

Non-Coplanar Arm

초박형 레이어 및 평면 샘플 특성을 조사하기 위한 세 번째 고니오미터 축:

최소 단계 크기: 0.001°

최대 2θ 범위 (구성에 따라 다름): 160°

자동 검출기 거리 감지

 

직접 각진 인코더로 탁월한 정확도

DIFFRAC.SUITE 소프트웨어와의 완벽한 통합

가장 정확한 Non-Coplanar 구조 결정을 위한 최대 160 ° 2θ 범위

EIGER2 검출기를 위한 실시간 교정

컴팩트한 UMC 스테이지

컴팩트한 UMC Plus 80:

XRPD용 빠른 스피너

최대(x,y) 번역: +/- 40mm

최대 샘플 높이: 57mm

 

컴팩트한 UMC Plus 150:

최대(x,y) 번역: +/- 75mm

최대 샘플 높이: 57mm

웨이퍼 척 및 틸트 스테이지용 진공 및 전기 공급

박막 연구와 분말 회절 모드 간의 원활한 전환

51mm 시료 직경을 위한 5위치 샘플 체인저

32mm 시료 직경을 위한 9위치 샘플 체인저

2-4" 웨이퍼 매핑

 

6-8" 웨이퍼 매핑

반사 모드 96 웰 플레이트 기능

케이블이나 진공 파이프를 신경 쓰지 않고도 연결된 틸트 스테이지와 진공으로 무한한 Phi회전을 허용합니다.

부속품

XRD Components

XRD Components

Bruker XRD solutions consist of high performance components configured to meet the analytical requirements. The modular design is the key to configure the best instrumentation.

All categories of components are part of Bruker’s key competence, developed and manufactured by Bruker AXS, or in close cooperation with third party vendors.

Bruker XRD components are available for upgrading the installed X-ray systems for improving their performance.

웨비나

지원

서비스 및 지원

우리는 다음을 제공합니다.

  • 고도로 숙련된 문제 해결 전문가의 헬프 데스크 지원, 하드 및 소프트웨어 문제 격리 및 해결
  • 서비스 진단 및 애플리케이션 지원을 위한 웹 기반 원격 계측기 서비스
  • 병합 된 현실 지원 – 당신의 측면에 가상 엔지니어 (비디오)
  • 귀하의 요구 사항에 따라 계획된 유지 보수
  • 고객 현장 수리 및 유지 보수 서비스
  • 예비 부품 가용성은 일반적으로 밤 또는 전 세계 며칠 근무일 이내에 제공됩니다.
  • 설치 자격, 운영 자격 /성능 검증을 위한 규정 준수 서비스
  • 사이트 계획 및 이전
  • 다음 교육 과정 찾기

다음을 위해 지원 웹 사이트를 확인하십시오.

  • 소프트웨어 업데이트
  • 제품 매뉴얼 및 설치 가이드
  • 교육 동영상

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