X선 회절(XRD)

DIFFRAC.XRR

DIFFRAC.XRR은 X선 반사측정 측정을 분석하기 위한 강력하고 사용하기 쉬운 소프트웨어 제품군입니다.

하이라이트

포괄적인 X선 반사율 분석

DIFFRAC.XRR은 사용자의 요구 사항에 가장 적합한 두 가지 분석 방법을 제공합니다.

  • 한 번의 마우스 클릭으로 XRR (X-ray Reflectometry) 곡선에서 레이어 두께를 빠르게 추정하기위한 FFT (Fast Fourier Transform) 방법.
  • 동적 산란 이론을 사용하여 샘플 모델 기반 피팅을 통한 상세한 XRR 분석.

DIFFRAC.XRR은 샘플 모델 작성부터 결과 보고에 이르기까지 전체 분석 프로세스에서 사용자의 효율성을 극대화하도록 설계되었습니다.

  • 공식 기반 매개변수 및 자유 피팅 변수를 포함한 유연한 샘플 모델링
  • 재료 및 샘플에 대한 포괄적이고 확장 가능한 데이터베이스
  • 매크로 기록 및 단계별 실행을 포함한 고급 자동화 및 워크플로 기능
  • 일련의 반사율 측정에 대한 자동 분석 및 표시
  • 맞춤형 등고선 플롯 및 통계 분석을 포함한 웨이퍼 매핑 데이터 평가
  • 템플릿 기능을 갖춘 강력하고 광범위한 보고서 생성기

특징

FFT 분석을 이용한 빠른 XRR 분석

레이어 두께에만 관심이 있으십니까?

DIFFRAC.XRR은 벤치마크를 설정합니다: Estimate 도구는 한 번의 마우스 클릭으로 FFT (Fast Fourier Transform)를 통해 레이어 두께를 평가하고 결과를 해당 XRR 측정 그래프에 직접 추가합니다.

이 방법의 장점은 조사 중인 샘플에 대한 사전 지식이 필요하지 않다는 것입니다.

전체 피팅을 통한 상세한 XRR 분석

상세한 분석을 위해 DIFFRAC.XRR은 동적 산란 이론을 적용하여 정확한 시뮬레이션을 수행하여, 최소 제곱 피팅으로 샘플 모델의 매개 변수(예: 두께, 거칠기, 질량 밀도)를 최적화합니다. 측정을 정확하게 설명하기 위해 기기 해상도, 배경 및 샘플 크기의 영향과 같은 실험 효과가 고려됩니다. 빠르고 신뢰할 수 있는 피팅 알고리즘은 최상의 수렴을 보장하고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.

포괄적인 재료 데이터베이스

DIFFRAC.XRR은 포괄적이고 확장 가능한 재료 데이터베이스를 제공합니다. 여기에는 비정질 및 결정질 재료뿐만 아니라, 최대 4차 화합물까지의 혼합 결정이 포함됩니다. 데이터베이스는 흡수, 침투 깊이, 굴절률, 편광도와 같은 X선 속성뿐만 아니라 구조 요소 또는 hkl 패턴의 계산을 제공합니다. 새 데이터베이스 항목을 쉽게 생성하기 위해 .cif 파일과 .str 파일을 직접 가져올 수 있습니다. 

탁월한 유연성을 갖춘 샘플 모델 정의

DIFFRAC.XRR은 단순한 단일 레이어에서 초격자 및 그라디언트를 포함하는 매우 복잡한 레이어에 이르기까지 이 모든 것을 마스터합니다. 다양한 계면 거칠기 모델을 통해 다양한 성장 형태를 정확하게 설명할 수 있습니다. 도면층 매개변수를 연결하여 구속조건을 부과할 수 있습니다. 그리고 추가 자유 변수의 가용성은 샘플 모델링의 유연성에 대한 새로운 표준을 설정합니다.

보다 빠르고 효율적인 작업을 위한 샘플 데이터베이스

DIFFRAC.XRR은 강력한 샘플 데이터베이스와 함께 제공됩니다.

복잡한 샘플 구조를 만들고 저장한 다음, 현재의 분석 프로젝트에 직접 로드할 수 있습니다. 이것은 일상적인 작업의 효율성을 크게 증가시킵니다.

측정 소프트웨어 DIFFRAC.SUITE와 샘플 데이터베이스를 공유하면 실험을 보다 효율적으로 계획할 수 있으며, 크게 DIFFRAC.SUITE 소프트웨어 플랫폼의 PLAN.MEASURE.ANALYZE 철학까지 지원할 수 있습니다. 그리고 추가 자유 변수의 가용성은 샘플 모델링의 유연성에 대한 새로운 표준을 설정합니다.

탁월한 보고 기능

DIFFRAC.XRR에는 최신 출판용 그래픽 및 전체 분석 보고서 작성을 위한 전문 인쇄 및 보고 시스템이 포함되어 있습니다.

사용자 정의 및 완벽한 맞춤 보고서 템플릿을 생성할 수 있습니다. 보고서를 직접 인쇄하거나 pdf 파일로 공유하거나 .docx 문서를 통해 추가로 편집할 수 있습니다.

Automation

일상적인 X선 반사율 분석이 그 어느 때보다 쉬워졌습니다. DIFFRAC.XRR은 매크로를 기록하고 단일 실행 또는 단계별 모드로 실행할 수 있습니다.

Workflow Designer는 측정 데이터 가져오기에서 결과 보고에 이르기까지 분석을 통해 사용자를 안내하거나 완전히 자동화된 워크플로 생성을 위한 직관적인 인터페이스를 제공합니다.

측정 분석

XRR 측정 시리즈들은 종종 다양한 non-ambient 조건에서 샘플로 수행됩니다.

DIFFRAC.XRR을 사용하면 이러한 데이터 시리즈를 쉽고 빠르게 분석할 수 있습니다. 샘플 모델의 각 정제된 매개변수는 non-ambient 매개변수의 기능으로 개별적으로 표시될 수 있습니다. 추가 통계 분석을 통해 샘플의 속성과 행동에 대한 최대의 통찰력을 얻을 수 있습니다.

정밀한 웨이퍼 분석

웨이퍼 또는 영역 매핑을 통해 샘플의 측면 균질성을 결정할 수 있습니다.

DIFFRAC.XRR은 전체 웨이퍼 분석 기능을 제공합니다. 각 정제된 샘플 매개변수는 윤곽으로 표시될 수 있으며, 매개변수에 대한 자세한 통계가 표시될 수 있고, 표면을 따라 섹션을 통해 로컬 샘플 속성을 자세히 볼 수 있습니다.

사양

DIFFRAC.XRR 사양

버전

소프트웨어의 현재 버전은 DIFFRAC.XRR V2.0입니다.

분석 방법

빠른 두께 추정을 위한 FFT 방법.

재귀 행렬 형식주의를 통해 동적 회절 이론.

초박막 시뮬레이션을 위한 효과적인 밀도 모델(EDM).

초 격자의 가장 빠른 시뮬레이션을 위한 Eigenwaves(MEV)의 방법.

운영 체제

Window 8, 8.1 및 10

64비트

지원

DIFFRAC.XRR를 최신 상태로 유지하십시오.

무료 유지 보수 업데이트

무료 DIFFRAC.XRR 유지 관리 업데이트는 XRR 버전을 최신으로 갱신합니다. XRR 라이센스 수준에 관계없이 www.brukersupport.com 최신 유지 관리 업데이트를 무료로 다운로드할 수 있습니다!

다운로드 프로세스

  • 브루커 고객 지원에 등록
  • "소프트웨어" 버튼을 클릭합니다.
  • DIFFRAC.XRR 유지 보수 업데이트를 검색합니다.
  • 업데이트 다운로드

버그 수정

DIFFRAC.XRR을 최신 상태로 유지하면 라이선스 수준에 관계없이 현재 버전뿐만 아니라 이전에 출시된 모든 버전에 대한 모든 버그 수정의 이점을 누릴 수 있습니다. DIFFRAC.XRR 유지 관리 업데이트는 누적되므로 이전 버전에도 적용할 수 있습니다.

업그레이드란 무엇입니까?

DIFFRAC.XRR 유지 관리 업데이트에는 새로운 기능이 제공되지 않습니다. 새로운 주요 릴리스에서 도입된 기능의 이점을 얻으려면 최신 DIFFRAC.XRR 업그레이드를 구입해야 합니다.