DIFFRAC.XRR

DIFFRAC.XRR은 사용자의 요구 사항에 가장 적합한 두 가지 분석 방법을 제공합니다.

• 한 번의 마우스 클릭으로 XRR (X-ray Reflectometry) 곡선에서 레이어 두께를 빠르게 추정하기위한 FFT (Fast Fourier Transform) 방법.
  
• 동적 산란 이론을 사용하여 샘플 모델 기반 피팅을 통한 상세한 XRR 분석.

DIFFRAC.XRR은 샘플 모델 작성부터 결과 보고에 이르기까지 전체 분석 프로세스에서 사용자의 효율성을 극대화하도록 설계되었습니다.

• 공식 기반 매개변수 및 자유 피팅 변수를 포함한 유연한 샘플 모델링
• 재료 및 샘플에 대한 포괄적이고 확장 가능한 데이터베이스
• 매크로 기록 및 단계별 실행을 포함한 고급 자동화 및 워크플로 기능
• 일련의 반사율 측정에 대한 자동 분석 및 표시
• 맞춤형 등고선 플롯 및 통계 분석을 포함한 웨이퍼 매핑 데이터 평가
• 템플릿 기능을 갖춘 강력하고 광범위한 보고서 생성기

레이어 두께에만 관심이 있으십니까?

DIFFRAC.XRR은 벤치마크를 설정합니다: Estimate 도구는 한 번의 마우스 클릭으로 FFT (Fast Fourier Transform)를 통해 레이어 두께를 평가하고 결과를 해당 XRR 측정 그래프에 직접 추가합니다.

이 방법의 장점은 조사 중인 샘플에 대한 사전 지식이 필요하지 않다는 것입니다.

DIFFRAC.XRR은 포괄적이고 확장 가능한 재료 데이터베이스를 제공합니다. 여기에는 비정질 및 결정질 재료뿐만 아니라, 최대 4차 화합물까지의 혼합 결정이 포함됩니다. 데이터베이스는 흡수, 침투 깊이, 굴절률, 편광도와 같은 X선 속성뿐만 아니라 구조 요소 또는 hkl 패턴의 계산을 제공합니다. 새 데이터베이스 항목을 쉽게 생성하기 위해 .cif 파일과 .str 파일을 직접 가져올 수 있습니다. 

DIFFRAC.XRR은 강력한 샘플 데이터베이스와 함께 제공됩니다.

복잡한 샘플 구조를 만들고 저장한 다음, 현재의 분석 프로젝트에 직접 로드할 수 있습니다. 이것은 일상적인 작업의 효율성을 크게 증가시킵니다.

측정 소프트웨어 DIFFRAC.SUITE와 샘플 데이터베이스를 공유하면 실험을 보다 효율적으로 계획할 수 있으며, 크게 DIFFRAC.SUITE 소프트웨어 플랫폼의 PLAN.MEASURE.ANALYZE 철학까지 지원할 수 있습니다. 그리고 추가 자유 변수의 가용성은 샘플 모델링의 유연성에 대한 새로운 표준을 설정합니다.

일상적인 X선 반사율 분석이 그 어느 때보다 쉬워졌습니다. DIFFRAC.XRR은 매크로를 기록하고 단일 실행 또는 단계별 모드로 실행할 수 있습니다.

Workflow Designer는 측정 데이터 가져오기에서 결과 보고에 이르기까지 분석을 통해 사용자를 안내하거나 완전히 자동화된 워크플로 생성을 위한 직관적인 인터페이스를 제공합니다.

웨이퍼 또는 영역 매핑을 통해 샘플의 측면 균질성을 결정할 수 있습니다.

DIFFRAC.XRR은 전체 웨이퍼 분석 기능을 제공합니다. 각 정제된 샘플 매개변수는 윤곽으로 표시될 수 있으며, 매개변수에 대한 자세한 통계가 표시될 수 있고, 표면을 따라 섹션을 통해 로컬 샘플 속성을 자세히 볼 수 있습니다.