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반도체 분석용 EDS SEM 및 EDS TEM

반도체의 에너지 분산형 X선 분광법(EDS/EDX)

에너지 분산형 X선 분광법(EDS 또는 EDX)은 반도체 분석을 위한 강력한 분석 기법입니다. 반도체 산업은 재료에 대한 정밀하고 포괄적인 특성 분석을 요구합니다. EDS는 탁월한 감도와 공간 분해능을 바탕으로 반도체 재료에 대한 빠르고 신뢰할 수 있으며 비파괴적인 원소 분석을 제공함으로써 이러한 요구 사항을 충족합니다.

반도체는 마이크로프로세서와 메모리 칩부터 센서 및 집적 회로에 이르기까지 전자 장치에서 중추적인 역할을 합니다. 성능 최적화, 품질 관리 확보, 연구 개발 진전을 위해서는 고공간 분해능으로 반도체 장치의 화학적 매핑이 필요합니다.

EDS는 반도체 시료의 원소 분포를 분석하는 비파괴적이고 효율적인 방법을 제공하여 연구자와 엔지니어가 재료 설계, 제조 공정 및 전반적인 장치 기능성에 대해 정보에 기반한 결정을 내릴 수 있도록 합니다.

What is EDS? Contact an Expert

반도체 분석용 EDS SEM

EDS/EDX SEM은 반도체 분석에 필수적인 도구로, 연구자들이 미세 규모 이상의 재료 원소 구성을 정밀하게 파악할 수 있게 합니다.

SEM EDS는 반도체 소자 구조에 대한 핵심적인 통찰력을 제공하며, 소자 성능 최적화를 위해 원소를 식별하고 매핑합니다. 이 기술은 특히 품질 관리, 고장 분석, 그리고 끊임없이 발전하는 반도체 기술 분야의 연구 개발에 매우 유용합니다.

브루커의 최신 EDS 검출기 XFlash® 7은 스펙트럼 품질 저하 없이 타의 추종을 불허하는 분석 속도를 제공합니다. 당사의 혁신적인 검출기 XFlash® 7100oval 및 XFlash® FlatQUAD는 고체각을 극대화하여 매우 낮은 프로브 전류에서도 최대 수집 효율과 최고 계수율을 실현합니다.

초고공간해상도 EDS 검출기 XFlash® 7100oval은 창 없는 설계의 타원형 칩과 100mm²의 유효 면적을 갖습니다. 이 검출기는 자성 침지 렌즈 유무에 관계없이 초급형부터 고급형 현미경까지 호환되며, 정성 및 정량 분석을 위해 최대 30kV까지 지원합니다. 이를 통해 반도체 구조의 초고해상도 공간 분해능 화학적 매핑이 가능해져 분석가가 SEM으로 TEM 수준의 EDS 매핑을 획득할 수 있습니다.

아래 애플리케이션 및 웨비나를 통해 반도체 산업에서의 SEM EDS 적용 사례에 대해 자세히 알아보세요. 

XFlash® 7100oval 검출기를 사용하여 촬영한 FinFET 구조의 초고해상도 EDS/EDX 이미지. 

반도체 산업에서의 EDS SEM 응용

Elemental distribution of different layers of an IC chip with SEM EDS

SEM EDS Analysis of Interconnecting Layers of a Bulk 7 nm Process FinFET

Bruker's EDS Detectors acquire high-resolution elemental maps with a high count rate and a low probe current, meaning semiconductor layer analysis can be carried out both faster and with high reliability. 
Analyze Semiconductor Layers
CIGS 태양 전지의 FIB-TEM 라멜라

CU의 FIB / TEM 라멜라의 EDS지도 (In, Ga)Se2 태양 전지

FIB/TEM 라멜라 및 나노 입자와 같은 낮은 X선 수율 물질의 화학 적 조성물은 SEM을 통해 나노 스케일 해상도에서 브루커의 고유한 EDS FlatQUAD 검출기로 안정적으로 측정됩니다.
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Webinars

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ON-DEMAND SESSION - 46 MINUTES

Nanostructural characterization of semiconductors with SEM

This webinar will discuss the quantitative characterization of nanostructured semiconducting materials using SEM with EDS and TKD techinques.
XFlash 6-100 oval
ON-DEMAND SESSION - 52 MINUTES

Introducing a Windowless High Collection Angle EDS Detector

We announce the release of a new large collection angle EDS detector with an oval shaped SDD area of 100 mm2, the XFlash® 6T-100 oval for TEM and STEM and the XFlash® 6-100 oval for SEM and T-SEM.
Distribution of Ni and Cr in Ni-based single crystal super alloy acquired at high magnifications in SEM
ON DEMAND SESSION - 37 MINUTES

Achieving Sub-10 nm EDS Spatial Resolution on Bulk Specimens in SEM

In this webinar, we demonstrate how sub-10 nm EDS-spatial resolution can be achieved using a low and high kV. Examples given include bulk semiconductor and aerospace materials with challenging element combinations.
Ultra-high resolution elemental map of a nanoscale feature on a semiconductor
ON DEMAND SESSION - 54 MINUTES

Ultra-High Spatial Resolution EDS Mapping of Semiconductors using FEG-SEM

In this webinar we demonstrate the strengths of SEM EDS for the chemical mapping of complex structures in bulk and of electron transparent specimens at a high spatial resolution. Sample analysis using a TESCAN Xe Plasma FIB-SEM and a TESCAN Ga FIB-SEM will be explored.

반도체 분석용 EDS TEM 및 EDS STEM

EDS/EDX TEM은 반도체 분석에 필수적인 도구로, 나노스케일에서 고해상도 원소 분석을 제공합니다. EDS TEM을 통해 연구자들은 탁월한 공간 정밀도로 반도체 재료의 원소 구성을 조사할 수 있으며, 이는 나노스케일 장치의 개발 및 최적화에 중요한 정보를 제공합니다.

박막 및 나노구조 내 원소 분포를 매핑하는 EDS TEM의 능력은 반도체 연구를 발전시키고 첨단 전자 부품의 품질을 보장하는 데 필수적인 기술입니다.

아래 응용 사례 및 웨비나를 통해 반도체 산업에서의 TEM EDS 적용에 대해 자세히 알아보세요. 

반도체 산업에서의 EDS TEM 및 EDS STEM 응용

RAM 마이크로칩 원소 분포 지도

SEM(T-SEM)에서 STEM-EDS를 사용하는 반도체 RAM 마이크로칩의 고해상도 매핑

X선 기반 방법을 사용한 반도체 나노구조의 원소 분포 매핑이 항상 똑바로 진행되는 것은 아닙니다. 반도체 소재를 조사할 때 나노스케일 공간 해상도와 X선 피크 중복의 필요성은 일반적인 과제입니다. 때로는 고가의 TEM 도구와 특성화 시간 대신 SEM을 사용하는 것이 유용할 수 있습니다.
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나노 와이어의 혼합 원소지도

나노 와이어의 화학 적 특성화

나노와이어 및 나노로드 및 기능성 나노차량과 같은 나노구조는 나노기술의 다양한 응용분야에 대한 관심이 증가하고 있으며, 인체에서 나노전자 또는 약물 전달이 될 수 있다.
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계층화된 시스템의 결합된 요소 맵

층구조의 화학상 분석

사전 지식을 적용하지 않고 화학 상의 존재에 대한 하이퍼 스펙트럼 이미지를 확인하는 것이 유리할 수 있습니다. 브루커의 ESPRIT 자동 위상은 스펙트럼의 원리 구성 요소 분석을 기반으로 하이퍼맵을 분석하여 유사한 조성물의 표본 영역을 자동으로 찾습니다. 이 절차의 감도를 조정할 수 있습니다. 이 방법은 단면의 다층 구조를 예로 사용하여 보여 지습니다.
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상호 연결 구조의 높은 각도 환상 암필드 이미지

반도체 상호 연결의 화학 적 조성

기존의 스캐닝 전송 전자 현미경(STEM)에 30mm2의 검출기 영역을 사용하는 표준 에너지 분산 X선 분광법(EDS 또는 EDX)은 몇 분 이내에 nm 해상도의 원소 매핑을 제공할 수 있습니다. 조건은, 검출기 헤드가 충분히 작아서 (슬림 라인 설계에서) 시편 (높은 고체 각도)에 가깝게 얻을 수 있으며 시편 (높은 이륙 각도용)에 대해 가능한 한 높다는 것입니다. 후자는 그림자 와 흡수 효과를 방지하는 데 도움이됩니다.
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Webinars

XFlash 6-100 oval
ON-DEMAND SESSION - 52 MINUTES

Introducing a Windowless High Collection Angle EDS Detector

We announce the release of a new large collection angle EDS detector with an oval shaped SDD area of 100 mm2, the XFlash® 6T-100 oval for TEM and STEM and the XFlash® 6-100 oval for SEM and T-SEM.
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ON-DEMAND SESSION - 60 MINUTES

EDS of semiconductor lamellae in SEM and STEM

The continuous miniaturization of semiconductor structures requires their understanding on the nanoscale to ensure best design and failure analysis.
Element distribution in FIB lamella by SEM EDS
ON-DEMAND SESSION - 57 MINUTES

Optimizing Semiconductor-based LED Devices Using EDS of Electron Transparent Specimens in STEM/SEM

The understanding of semiconductor structures on the nanoscale mostly needs high-end analytical scanning transmission electron microscopy including the respective method combination and complex specimen preparation. Here UV-LEDs have been recently tested for skin-tolerant inactivation of SARS-CoV-2 and multi-resistant bacteria.

QUANTAX EDS 분석 시스템

이러한 적용 사례에서 볼 수 있듯이, 브루커의 SEM용 QUANTAX EDS 및 TEM용 QUANTAX EDS 시스템은 반도체 산업에서 사용하기에 매우 적합합니다.

XFlash® 7 검출기와 같은 업계 선도적인 EDS 기술 외에도, 브루커는 응용 지원 및 교육을 제공합니다. 

Discover QUANTAX EDS for SEM Discover QUANTAX EDS for TEM
Contact an Expert EDS Training
XFlash® 7 detectors for SEM EDS and TEM EDS

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