原子力顕微鏡による自動多点測定方法の紹介 ～対象：形状、機械的特性、磁気的・電気的特性への応用～
半導体、光、磁気デバイス向けの構造や特性測定を、例えばウェハー面内の多数点で測定を行い、プロセス工程内の面内ばらつき確認や品質管理にAFMを用いるケースが増えてきています。単一条件による多数点測定から、測定位置毎に様々な測定を組み合わせる応用例まで多岐にわたります。このウェビナーでは、専用測定ソフトを使用した自動多点測定方法の概要について説明します。（約20分）2024年3月27日
ウェビナー要約
わかる！AFMシリーズの今回は、SCM, SSRM, sMIM を用いた半導体解析に関するウェビナーを企画しました。ウェビナーでは、ブルカーアプリケーションエンジニアよりAFMを用いた電気測定の基礎や各種解析結果、更に最新のデータキューブ測定例についてご紹介し、最後に試料作製方法を簡単に紹介します。
（右図：SRAM pnpトランジスターのDCUBE-SCMデータ。これらのイメージは、SCMのdc/dvアンプリチュードデータをもとに各ポイントで dc/dv-V カーブを取得し X, Y, VDC の3次元キューブを構築したものです。データポイント：128 x 128ピクセル。）
＜こんな方におススメ＞
これからAFMを用いた半導体解析を始めたい方
ドーパントプロファイル可視化に興味のある方
マクロな電気測定に課題を感じている方
このウェビナーで取り上げられた技術の詳細や、原子力顕微鏡（AFM）向けの当社の他のソリューションについて、詳しくはこちらをご覧ください：
