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探针式表面轮廓仪

布鲁克探针式表面轮廓仪(又称“台阶仪”)历今四十载,积累大量专有技术。从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量,到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试,Dektak台阶仪适用面极广,为用户提供准确性高,重复性佳的测量结果。

 

在教育、科研领域和半导体制程控制,Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。近几年,Dektak系统已经成为发展的太阳能电池市场最优越的测试工具,也被许多主要的光伏太阳能电池制造商所认可。

DektakXT

桌面型探针式表面轮廓仪

布鲁克DektakXT®台阶仪设计创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性高达4埃。这项测量性能的提高,达到了过去四十年Dektak®体系技术创新的顶峰,更加稳固了其行业中的领先地位。不论应用于研发还是产品测量,在研究工作中的广泛使用是的DektakXT地功能更强大,操作更简便易行,检测过程和数据采集也更加完善。技术的突破也实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

Dektak XTL

严格的质量保证与控制下获得300mm最优性能检测

布鲁克公司的新型Dektak XTL探针式轮廓仪系统可容纳多大350mm*350mm的样品,将Dektak有意的可重复性和再现性应用于大尺寸晶片及面板制造业。Dektak XTL集成气体隔振装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行,是当今要求苛刻的生产环境的理想之选。它的双摄像头设置使空间感增强,其高水平自动化可最大限度提高生产量。

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