Micro-XRF on SEM

QUANTAX Micro-XRF

使SEM具备痕量分析的能力

XTrace Mounted on a SEM

QUANTAX Micro-XRF系统拥有可以加装在扫 描电镜上的XTrace微型X射线发生源,使扫 面电镜具备了完全的微区XRF分析能力。XTrace 适用于绝大多数的扫描电镜,用户可以拥有 XRF分析的优势,对痕量元素的高灵敏度,可以 得到更多样品内部元素的信息。

用户友好型Micro-XRF系统

  • 全息面分布(Hypermap)可以将完整的谱图 以像素点为单位进行存储。用户可以在测试过程中 或之后的任何时间进行数据分析处理。
  • 样品可以进行微区XRF分析和能谱分析而不 需要改变位置。
  • 分析方法一体化,EDS和微区XRF分析方式都 可以在ESPRIT 2.0软件里面实现。
  • 不会干扰扫描电镜的正常操作,XTrace可以一 直在停留在采集位置。

    完全的微区XRF分析

    • 微区分析结果可媲美台式XRF 的结果。
    • 图像拼接可以实现更大区域的面分布。
    • 多种X射线滤波器可供选择,用来抑制衍射峰。
    • 和扫描电镜的自动马达台联动。
    • 允许样品倾斜,实现X射线的最小束斑尺寸。
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