3D光学式プロファイラー

ContourX-200

表面テクスチャ計測のための柔軟なベンチトップ
ContourX-200

ハイライト

ContourX-200

ContourX-200光学式プロファイラー(3次元白色干渉型顕微鏡・表面形状粗さ計)は、高度な特性評価、カスタマイズ可能なオプション、使いやすさを完璧に融合させ、クラス最高の高速、高精度、再現性のある非接触3次元表面形状測定を実現します。ゲージ対応でフットプリントの小さいこのシステムは、より大きなFOVを持つ5MPデジタルカメラと新しい電動XYステージにより、妥協のない2D/3Dの高解像度測定機能を提供します。ContourX-200は、従来のコンフォーカル(共焦点)顕微鏡や光学式プロファイラーのような制限を受けることなく、ブルカー独自の白色光干渉技術(WLI)によるZ軸の分解能と精度を提供します。

オートメーション
機能
ルーチン化することで、より迅速な測定・分析が可能になります。
電動式
XYステージ
定量的な計測を可能にする低ノイズ・高速動作を実現。
振動耐性
コンパクト設計
測定の安定性とゲージに収まる再現性を実現。

特長

機能

妥協のない、クラス最高の計測技術

ContourX-200光学式プロファイロメータは、40年以上にわたるWLI独自の技術革新により、定量的な計測に必要な低ノイズ、高速、高精度を実現しています。複数の対物レンズと統合された特徴認識機能により、様々な視野とサブナノメートルの垂直分解能で特徴を追跡することができ、様々な業界の品質管理やプロセスモニタリングのアプリケーションにスケールに依存しない結果を提供します。ContourX-200は、反射率0.05%から100%まで、あらゆる表面状況に対応します。また、革新的なステージデザインを採用し、より大きなスティッチング能力を実現したほか、1200x1000の計測アレイを備えた5MPカメラを搭載し、低ノイズ、広い視野、高い横方向の解像度を実現しています。

WLIは、様々な測定試料に対し、常に究極の垂直解像度を提供します。

最も幅広いアプリケーションの分析能力

ContourX-200モーター付きステージ。

ContourX-200は、強力なVisionXpressとVision64のユーザーインターフェースを利用して、研究室や工場の生産性向上のために何千ものカスタマイズされた分析を提供します。ユニバーサル・スキャニング・インターフェロメトリ(USI)測定モードは、表面形状を自動で感知し、信号処理を最適化することで、最も正確でリアルな表面形状を算出します。また、新開発のカメラと電動XYステージによる広い視野により、さまざまなサンプルや部品に柔軟に対応し、高いスループットを実現しています。ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより、最高の光学性能を合理的に利用できるようになり、他の計測機器を完全に凌駕しています。

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