高性能ナノ力学特性評価装置

ハイジトロン TI 990 ナノインデンター

比類のないパフォーマンスを備えた世界で最も包括的なナノメカニカル試験機

Bruker のHysitron TI 990 TriboIndenter® はナノ力学特性評価およびナノトライボロジー特性評価の性能、柔軟性、使いやすさを追求した新世代のナノインデンターです。ナノインデンター業界をリードするBrukerのTriboIndenterシリーズの最新機であるTI 990の測定機能や解析プロセスには、一般的なナノインデンターシステムの限界を超えるように設計された最新のテクノロジーが搭載されています。このシステムはナノインデンターで利用可能なほとんどの測定モードを標準で備えており、一般的な実験室環境で高精度の測定を実現します。

Hysitron TI 990 TriboIndenter

Hysitron TI 990 TriboIndenterは、各種試験の制御機能・スループット機能、試験プロセスの柔軟性・多様性、測定結果の信頼性およびシステムのモジュール性において目覚ましい進歩を遂げました。以前の装置よりも過酷・複雑な条件での試験・材料研究を可能にします。

唯一無二
パフォーマンスと機能
Performech III制御、nanoDMA IV、XPM II 超高速マッピングなど最新テクノロジーを搭載
多様性
モジュールシステム
高度なナノ力学試験技術に加える幅広い拡張オプションがお客様の試験ニーズに応えます
使い易い
制御機能とソフトウエア
新しいシステム制御ソフトウエアTriboScan 12によりシステムのセットアップ、操作・分析機能が扱いやすくなりました
機能

TI990基本構成

Hysitron TI 990 TriboIndenter base model configuration

1. in-situ SPMイメージング用のデュアルピエゾスキャナー

2. 高解像度のカラー光学系

3. 特許技術の低ノイズ2D 静電容量型トランスデューサー

4. 装置の安定性をもたらす剛直な花崗岩フレーム

5. アクティブ防振システム

6. Performech III コントローラー

7. ノイズ耐性が 50 倍向上した振動減衰ベース

8. 多層構造の環境エンクロージャー

9. サンプルチャックのトップビューカメラ

10. XPM II超高速ナノインデンテーション機能による特性マッピング

11. 動的ナノインデンテーション

12. 将来的な拡張を可能にするカスタマイズ式のパネル

13. ユニバーサルサンプルチャック

14. 従来に比べ試験可能エリアが 60%増加した、高精度の電動ステージ

 

アプリケーション

No System Has More Testing Modes

TI 990 を使用すると、ナノ力学試験プロセスの自在性が大幅に広がります。広い試験領域を有するため大きなサンプルを設置でき、測定条件もフィードバックモードやデータ取得量に制限されることなく、任意にプログラムできます。

また、TI990ではポリマー薄膜の測定精度や複合材料に対するスループットが向上し、フル 300 mm 半導体ウエハの複数測定・分析が可能となりました。

ナノインデンテーション

荷重変位曲線を取得して、ナノ・マイクロスケールの材料の機械的特性を定量的に評価します。静電容量型トランスデューサー・正確な圧子の校正などの技術の組み合わせにより、あらゆる材料に対し信頼性の高い硬さ・弾性率測定が可能になります。

ナノスクラッチ

ナノインデンテーションの動きに水平方向の動きを組み合わせ、ナノスクラッチを行うことでトライボロジー特性や密着特性を評価できます。また、in-situ SPMイメージング機能によりスクラッチ試験後の表面形状像を即座に取得可能。試験結果の解釈に役立ちます。

ナノ摩耗

一定の領域を圧子でラスタースキャンすることにより、ナノスケールでトライボメーターのような実験を実施します。印加荷重、パスの回数および圧子のスキャン速度を設定して、試料表面を摩耗させ、その摩耗量を算出します。

In-Situ SPM イメージング

試料の表面形状像を取得し、ナノ力学特性およびナノトライボロジー特性のデータとの関連付けが可能です。試験前後の両方の表面形状像を比較することで変形挙動の分析が可能になります。また、ナノメートルで試験位置の制御も可能です。

XPM II

高い測定分解能と精度を維持しながら、機械的特性を迅速にマッピングします。軽量の静電容量型トランスデューサー、高速制御およびデータ取得コントローラー、in-situ SPMイメージングを組み合わせて、定量的なナノ力学特性マップと特性分布統計データを記録的な速さで作成します。

nanoDMA IV with CMX

ナノスケールのnanoDMA機能により、深さ方向の機械的特性評価を実施可能です。硬さ、貯蔵弾性率、損失弾性率、tanδなどの機械的特性を定量的・連続的に測定します。また、高分子材料などの動的粘弾性の評価も可能です。加熱・冷却オプションと組み合わせることで時間温度依存性についても試験できます。


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アクセサリー(アップグレードオプション)

包容力のあるナノインデンター TI990

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利用可能なアップグレードオプションの詳細やお客様の測定ニーズに合わせたTI 990の構成については弊社までお問い合わせください。

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