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Hysitron TriboScope

ブルカーのAFMでナノ力学特性の定量評価が可能

ブルカーのHysitron TriboScope(ハイジトロントライボスコープ)は、ブルカーのAFMに取り付け可能なナノインデンテーションシステムです。ブルカーのAFM(Dimension Icon、Dimension Edge、MultiMode 8)と組み合わせて使用することで、ナノ力学特性評価の可能性が大きく広がります。TriboScopeはあらかじめ形状の校正を行ったダイヤモンド圧子を使用して測定するため、定量的で再現性の良いナノ力学特性評価が可能です。そのため、AFMでのカンチレバーを用いたナノ力学特性評価において、度々生じていた結果のバラツキ、解析の複雑さなどの問題を解決する有効な手法となります。

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TriboScope tool image
surface analysis

ナノ力学特性評価の定量性、信頼性、そして再現性を

ブルカーのAFMに加える、再現性のあるナノ力学特性評価手法

TriboScopeはブルカーのAFM(Dimension Icon、Dimension Edge、MultiMode 8)に簡単に取り付け可能です。

On Off
Triboscope 4 images

TriboScopeで実施可能な革新的な測定手法のご紹介

準静的ナノインデンテーション

微細構造、界面、薄膜などの微小領域において、弾性率、硬さ、クリープ性、応力緩和性、破壊靭性の定量評価ができます。

In-situ SPMイメージング

圧子を用いて、試料表面のSPMイメージングを行い、ナノメートルオーダーの正確な測定箇所の位置決めが可能です。測定後、再度SPMイメージングを行うことで、測定前後の試料の形状変化を比較できます。

スキャニング摩耗試験

圧子を用いて、試料表面のラスタースキャンを行います。ナノスケールでの定量的な摩耗抵抗性の評価が可能です。

ナノスクラッチ

ナノスケールでのスクラッチ試験を行い、引っかき抵抗性・摩耗抵抗性、摩擦係数、薄膜の凝着性などについて定量評価が可能です。(ナノスクラッチオプションが必要です)

nanoDMAIII – 動的ナノインデンテーション測定

押し込み深さ、周波数、時間の関数を用いて、連続的に弾塑性、粘弾性の評価(貯蔵弾性率、損失弾性率、tanδなど)を行います。(nanoDMAIIIオプションが必要です)

AFMでのナノ力学特性評価に比べ、優位な点

ほとんどのAFMではナノ力学試験にカンチレバーを使用しています。しかし、カンチレバーごとの特性(ばね定数、先端径)が微妙に異なることの影響を受け測定結果にバラツキが生じる課題があります。TriboScopeでは、あらかじめ校正したダイヤモンドプローブを用い、試験中に荷重・変位のフィードバックコントロールを行うシステムを採用することで、定量性、再現性に優れたナノ力学試験を実施できます。

Triboscope Cantilever Image
Triboscope Displacement Image v2

静電容量型トランスデューサーを採用

TriboScopeでは、静電容量トランスデューサーを採用しています。このトランスデューサーは、測定時にほとんど電流の印加が必要ではないため、ナノスケールでの測定時に重要となるドリフトの影響を極限まで低減し、安定的な測定を実現します。

荷重・変位のフィードバックコントロール

荷重・変位のクローズド・ループ・コントロール、78kHzのフィードバックレートにより、測定中に試料に生じたナノスケールの破壊、すべりなどの現象を的確に捉えます。設定した試験条件通りにナノ力学試験を実施し、データ取得することが可能です。

Triboscope Graph Image