XFlash^® 7200 FIRE: SEM용 EDS를 위한 4채널 X선 검출기 소개

선구적인 동급 최대 규모의 XFlash® 7200 FIRE는 SEM EDS의 가능성을 새롭게 정의합니다.

• 정성 및 정량 EDS 분석 속도를 높이십시오.
• 업계 최고의 카운트 속도를 통해 나노미터 해상도로 시료를 매핑하십시오.
• 병렬 4배 신호 처리를 통해 낮은 Dead Time으로 작업하십시오.
• 최대 30 keV에 이르는 전체 EDS 스펙트럼에서 원소 선을 식별하십시오.
• 최고의 저에너지 X선 감도로 경원소를 검출하십시오.
• 최대 30kV까지 STEM-in-SEM EDS를 수행하십시오. 
• 당사의 eWARP 검출기를 활용한 병렬 EBSD 매핑으로 초고속의 심층 재료 분석을 수행하십시오.

XFlash® 7200 FIRE의 탁월한 성능은 독창적인 설계에서 비롯됩니다.

이 검출기는 총 유효 면적이 200 mm²인 4개의 검출기 세그먼트와 4중 병렬 신호 처리 기능을 갖추고 있어, 업계 최고 수준인 최대 2,400,000 cps의 OCR에서 에너지 분해능을 제공함으로써 기존 검출기의 한계를 극복합니다.

XFlash®  7200 FIRE의 아키텍처와 경사형 기하 구조는 가능한 최대 입체각으로 신호를 수집하여 수집 효율을 극대화하고, 포괄적인 재료 분석을 위해 SEM에서 병렬 초고속 EBSD 및 마이크로 XRF를 지원합니다.

이 검출기의 뛰어난 카운트 레이트 및 효율 성능은 높은 가속 전압과 낮은 가속 전압 모두에서 초고속 분석을 지원하며, 시료의 이미지 드리프트를 최소화하여 초고해상도의 원소 매핑을 가능하게 합니다.

윈도우가 없는 설계를 채택한 XFlash®  7200 FIRE는 경원소 검출을 위한 뛰어난 저에너지 X선 감도를 갖추고 있으며, 최적화된 전자 트랩을 통해 최대 30 kV에 이르는 전체 EDS 스펙트럼에 걸친 분석을 지원합니다.

4채널 세그먼트 설계, 높은 카운트 레이트에서의 뛰어난 에너지 분해능, 그리고 윈도우리스 설계를 갖춘 XFlash®  7200 FIRE 검출기는 까다로운 SEM EDS 응용 분야에서 탁월한 성능을 발휘합니다. 특히 다음과 같은 분야에서:

반도체 및 첨단 소재

높은 처리량, 뛰어난 스펙트럼 분해능, 그리고 전체 스펙트럼 원소 검출 기능이 결합되어, 나노미터 분해능의 원소 매핑이나 피크 중첩이 심한 반도체에서 자주 사용되는 원소들을 구별하는 등 까다로운 분석 작업을 지원합니다.

배터리 소재 및 경원소 풍부 시료

XFlash® 7200 FIRE의 윈도우리스 설계는 배터리 소재, 고분자 및 기타 경원소 함유 시료의 분석을 위해 저에너지 X선 검출 능력을 극대화합니다.

나노 구조 시료

낮은 가속 전압에서도 단시간 내에 충분한 EDS 데이터를 획득할 수 있는 능력 덕분에 나노 규모의 특징을 가진 시료를 고해상도로 특성 분석할 수 있습니다.

생명 과학 및 빔에 민감한 시료

XFlash® 7200 FIRE는 X선 수집 효율과 처리량을 극대화함으로써, 생물학적 시료와 같은 민감한 시료의 분석을 위해 더 낮은 전자빔 조사량으로도 통계적으로 유의미한 결과를 얻을 수 있게 해줍니다.

10월 27일에 진행되는 이 라이브 웨비나에서, XFlash® 7200 FIRE를 탑재한 QUANTAX EDS가 어떻게 핵심 분석 정보를 더 빠르게 확보하고, 모든 시료의 조성 분석을 개선하며, 광범위한 응용 분야에서 생산성을 향상시키는지 알아보십시오. 이 차세대 기술이 반도체 검사, 배터리 분석, 첨단 제조, 생명과학 등 다양한 분야에서 연구자와 엔지니어들이 점점 더 복잡해지는 재료 관련 과제를 해결하는 데 어떻게 힘을 실어주는지 확인해 보십시오.

XFlash®  7200 FIRE는 당사의 SEM용 QUANTAX EDS 분석 시스템을 위한 주력 검출기입니다. 

QUANTAX EDS for SEM에는 XFlash®  7 검출기, 신호 처리 전자 장치 및 당사의 포괄적인 ESPRIT 소프트웨어 제품군을 포함하여 SEM EDS 분석을 수행하는 데 필요한 모든 것이 포함되어 있습니다.