TriboLab CMP
TriboLab CMP
TriboLab CMP는 이전 제품(브루커 Model CP-4)을 통해 20년 이상의 CMP 공정 전문 지식을 활용하여 업계 최고의 TriboLab 플랫폼에 완벽한 기능을 제공합니다. 그 결과 발생하는 정확도와 측정 반복성은 CMP 공정 전반에 걸쳐 매우 효과적인 검증, 검사 및 지속적인 기능 테스트를 가능하게 합니다. TriboLab CMP는 CMP 공정 및 소모품의 정확하고 완벽한 특성화를 위해 광범위한 연마 압력(0.05-50 psi), 속도(1~500rpm), 마찰, 음향 방출 및 표면 온도 측정을 제공할 수 있는 시장에서의 유일한 CMP 공정 개발 시험분석기 입니다.
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CMP공정 CMP MACHINE을 소형화 R&D 스케일화한 전문 시스템
브루커의 TriboLab CMP 공정 및 재료 특성화 시스템은 웨이퍼 연마 공정의 안정적이고 유연하며 비용 효율적인 벤치 특성화를 위해 처음부터 설계되었습니다.
- 생산 장비의 가동 중지 시간 없이 본격적인 웨이퍼 연마 공정 조건 재현
- 타의 추종을 불허하는 측정 반복성과 세부 사항 제공
- 전체 웨이퍼 테스트를 통해 상당한 비용 절감을 위해 소형 조각에 대한 테스트 허용
연마 공정을 더 잘 이해하기 위한 실시간 진단
- 시중에 있는 다른 시스템보다 CMP공정에 근접한 연마 특성에 대한 가시성 제공
- 기질이 패드에 닿는 순간과 전체 테스트에서 데이터를 수집
- 보다 완전하고 상세한 데이터를 통해 초기 단계 프로세스 개발 의사 결정 가능
샘플 유형, 크기 및 Mounting 구성의 유연성
- 거의 모든 컨디셔닝 디스크, 모든 슬러리 및 패드를 사용하여 평평한 소재를 연마 시험분석 합니다.
- 전체 100mm 직경 웨이퍼 샘플을 시험기에 쉽게 장착 가능합니다.
- 유연성을 위해 여러 샘플 장착을 허용합니다.
Frequently Asked Questions
TriboLab CMP accommodates small coupons up to 100 mm (4”) wafers. Multiple wafer head and mounting options are available.
Wafer head and platen speeds for the TriboLab CMP system can range from 1 to 500 rpm. Polishing load ranges vary between 0.07 to 90 psi based on wafer size and head. Download the system brochure for a full list of specifications.
Yes. The system is designed for reliable, flexible, and cost-effective benchtop characterization that closely aligns with full-scale CMP conditions.
TriboLab CMP can use virtually any industry-standard pad, slurry, and conditioning disc. It also supports a programmable two-pump slurry and rinse delivery system.
Yes. The platform supports a wide range of materials. Bruker can advise on process parameters and connect you with partners for material-specific recipes when needed.
The system can record load, friction, temperature, acoustic emissions, speeds, and pressures from first contact to the end of the test.
More About Bruker's Mechanical Testing and Tribology Technology
TriboLab platforms support standard rotary, reciprocating, block-on-ring, four-ball, scratch, and indentation tests. Common methods include ASTM G99, G133, G77, D4172, and C1624. Equivalent ISO methods can typically be addressed through the same hardware and scripting.
The exact scope of the included installation and operator training depends on region and contract. Confirm details with your Bruker representative.
All TriboLab systems are modular. You can select drives, force and torque sensors, environmental chambers for temperature and humidity, liquid and electrochemical options, and advanced sensors to meet your application needs. If you are not sure which modules meet your needs, our experts can help.
Bruker provides applications consulting, troubleshooting, and best practice guidance, along with optional service plans for ongoing support, maintenance, and training.
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